في قاعة التصنيع، إذا كانت الرقاقات تحمل آثارًا ناتجة عن عملية التنظيف بالماء، أو إذا لم يتم تسخين طبقة الفوتوريزست بالشكل الصحيح، أو إذا لم يتم تصلب المادة المستخدمة في تغليف الرقاقات بشكل متساوٍ، فإن ذلك سيؤدي إلى تأخير عملية التصنيع، بل وقد يدمر الرقاقات نفسها. لذلك، يجب أن يكون التسخين بالأشعة تحت الحمراء منضبطًا للغاية، مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة، دون إضافة أي جزيئات أو تسبب ضغوط حرارية على الرقاقات.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ لقد صممنا جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء بعد عملية التنظيف باستخدام أشعة تحت حمراء قصيرة الطول، بالإضافة إلى تصميم حراري يعتمد على الماس، وذلك لضمان توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة على الرقاقات، بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. يساعد هذا التصميم في تحقيق درجة حرارة ثابتة خلال عمليات التسخين، مما يساعد في الحفاظ على دقة الأبعاد وتوزيع الحرارة بشكل متساوٍ.
يساعد النظام المغلق في التحكم في درجة الحرارة، حتى عند التسخين بسرعة. يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، كما أن العناصر المستخدمة في الجهاز مصممة لإنتاج جزيئات صفرية تقريبًا.
لماذا يعمل هذا الجهاز بشكل جيد في الإنتاج؟ يمكن لجهاز واحد أن يقوم بعدة مهام: تجفيف الرقاقات بعد التنظيف، وتسخين طبقة الفوتوريزست، بالإضافة إلى تصلب المواد المستخدمة في تغليف الرقاقات. يساعد ذلك في تحسين كفاءة الإنتاج، لأن الجهاز يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، كما يساعد في تقليل العيوب في الرقاقات.
كما أن استهلاك الطاقة يقل أيضًا، لأن استخدام أشعة تحت حمراء قصيرة الطول يعتبر فعالًا، بالإضافة إلى أن الكتلة الحرارية للجهاز منخفضة. يمكن للجهاز العمل 24/7 دون أي مشاكل، مما يقلل من الوقت المضيع في الصيانة والاحتياج إلى مخزون احتياطي.
ما يجب التخطيط له؟ يتطلب التركيب مطابقة حجم الجهاز مع مساحة الغرفة، بالإضافة إلى توصيل خطوط الغاز والتهوية، والتأكد من توافق واجهات الاتصال مع الجهاز. يجب أيضًا التخطيط لفترة تجريبية قصيرة لضبط إعدادات الجهاز.
يعمل الجهاز بشكل أفضل مع الرقاقات ذات الأحجام القياسية والعبوات المسطحة. إذا كنت تستخدم رقاقات محنية أو ذات أحجام غير قياسية، فقد تحتاج إلى استخدام أدوات خاصة لضمان توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة.