শুকানোর সময় আপনার MEMS ওয়েফারগুলোকে নির্মল অবস্থায় রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
যদি আপনি ক্লাস ১০০ মানের ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা রাসায়নিক বাষ্পও আপনার সমস্ত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে।
সমস্যা হলো, বেশিরভাগ হিটিং উপাদানগুলোই আসলে খুবই নোংরা থাকে। যখন এগুলো উত্তপ্ত হয়, তখন এগুলো থেকে ক্ষুদ্র কণাগুলো বেরিয়ে আসে; আর ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডগুলোও ওয়েফারের উপর পড়ে। এটা একটি বিপজ্জনক পরিস্থিতি।
এই কারণেই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি। এগুলো এই সমস্যা সৃষ্টি করে না।
কেন আমরা বিশুদ্ধ কোয়ার্টজ ব্যবহার করি?
আমরা ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; কারণ এটা খুবই মজবুত। সাধারণ কাঁচ বা সস্তা কোয়ার্টজ গরম হলে ভেঙে যায়; কিন্তু এটা ভাঙে না।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, IR বিকিরণটি ওয়েফারের উপরের তরল আবরণকে সরাসরি ভেদ করে যায়। এর ফলে আর্দ্রতা দ্রুত বাষ্পীভূত হয়। আর যেহেতু কিছুই ওয়েফারের সংস্পর্শে আসে না, তাই আপনাকে কোনো ধরনের ক্ষতি বা নোংরার চিন্তা করতে হয় না।
ঠিক মাত্রার তাপ পাওয়া
আমরা শর্টওয়েভ IR ব্যবহার করি। এটা ওয়েফারের পৃষ্ঠে দ্রুত পৌঁছায়।
এটা খুবই দ্রুত হয়। আর এটাই গুরুত্বপূর্ণ; কারণ যদি দ্রবকটি ধীরে ধীরে বাষ্পীভূত হয়, তাহলে ওয়েফারে জলের দাগ থেকে যাবে।
আমরা ওয়াটেজ ও ভোল্টেজ ঠিক করার জন্য অনেক সময় ব্যয় করি; যাতে ওয়েফারের সর্বত্র সমান তাপ থাকে। একটি গুরুত্বপূর্ণ পরামর্শ হলো: যদি আপনি গতি বাড়ানোর জন্য পাওয়ার বাড়ান, তাহলে নিশ্চিত হোন যে আপনার সাবস্ট্রেট হোল্ডারটি ঐ তাপ সহ্য করতে পারবে। নইলে ওয়েফারটি বিকৃত হয়ে যাবে।
সবকিছু ঠিকভাবে সাজানো
আমরা ডিজাইনটিকে সরল রাখি। কোনো বড় আকারের কেস ব্যবহার করি না; কারণ এগুলো ধূলি জমার কারণ হয়।
কানেকশনগুলোও কম রাখা হয়; যাতে কম জিনিস ভেঙে যায়। আমরা বিশেষ সিলও ব্যবহার করি; যাতে বৈদ্যুতিক অংশগুলো থেকে কোনো কণা হিটিং জোনে প্রবেশ না করে।
আরেকটি পরামর্শ: এই ল্যাম্পগুলো খুবই গরম হয়। তাই ল্যাম্পগুলোর অংশগুলোকে ঠান্ডা রাখার জন্য আলাদা কুলিং সিস্টেম ব্যবহার করা উচিত। এতে লম্বা সময় ধরে উৎপাদন করার সময় ল্যাম্পগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হবে না।