আপনার ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমটিকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা কঠিন। যদি আপনি ক্লাস ১০০ পরিবেশে কাজ করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই এর ঝামেলাগুলো জানেন। একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা অতিরিক্ত গ্যাসও আপনার উৎপাদিত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে।
আসল সমস্যা হলো হিটিং এলিমেন্টগুলো। বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টই এই ধরনের পরিবেশে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত নয়। উচ্চ তাপমাত্রার কারণে এগুলো থেকে মাইক্রো-কণাগুলো বেরিয়ে আসে; ফলে আপনার “পরিষ্কার” রুমটি আর পরিষ্কার থাকে না।
আমরা এটা রোধ করার উপায় খুঁজে পেয়েছি। আমরা উচ্চ-ঘনত্বের কোয়ার্টজ IR ল্যাম্পগুলোকে বিশেষ ধরনের টেফলন তারের সাথে ব্যবহার করি। এটা খুবই সহজ, কিন্তু কার্যকর।
গোপন রহস্যটি হলো কোয়ার্টজে।
আমরা সাধারণ কাঁচ ব্যবহার করি না। আমরা ল্যাম্পগুলোর জন্য কৃত্রিম, উচ্চ-ঘনত্বের কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। কেন? কারণ এটা ধাতব আয়নগুলোকে উৎপাদন এলাকায় প্রবেশ করতে বাধা দেয়।
এটা খুবই মজবুতও। আপনি দ্রুত তাপমাত্রা বাড়াতে বা কমাতে পারেন; এবং এই টিউবগুলো ভাঙবে না। এছাড়া, এগুলো থেকে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রেডিয়েশন নির্গত হয়; যা সরাসরি ওয়েফারগুলোকে গরম করে। আপনাকে অপেক্ষা করার দরকার নেই। এটা খুবই দ্রুত হয়।
“অদৃশ্য” সমস্যাগুলো মোকাবেলা করা
আর তারগুলোর ব্যাপারটাও আছে। বেশিরভাগ মানুষ PVC বা সিলিকন ব্যবহার করেন; কিন্তু উচ্চ তাপমাত্রার কারণে এগুলো গলে যায়। এগুলো থেকে ভলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডগুলো নির্গত হয়। ফলে ওয়েফারগুলো দূষিত হয়ে যায়।
এই কারণেই আমরা PTFE (টেফলন) ব্যবহার করি। উচ্চ তাপমাত্রাতেও এটা রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল থাকে। কোনো গ্যাস নির্গত হয় না; কোনো দূষণ হয় না।
আর যেহেতু আমরা এগুলোকে আপনার বর্তমান হিটার ব্লকগুলোর জায়গায় ব্যবহার করার জন্য ডিজাইন করি, তাই আপনাকে আপগ্রেড করার জন্য পুরো লেআউটটি পুনর্ডিজাইন করার দরকার নেই।
কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার
এই IR ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। তাপ দ্রুত প্রদান করতে পারে; কিন্তু যদি সাবধান না হন, তাহলে এটা বেশি হয়ে যেতে পারে।
যদি লক্ষ্যবস্তু থেকে দূরত্বটি কয়েক মিলিমিটার ভুল হয়, তাহলে অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হবে। তাই আপনাকে PID কন্ট্রোলারগুলো ভালোভাবে যাচাই করতে হবে; আর নিশ্চিত হতে হবে যে কুলিং ফ্যানগুলো যথেষ্ট শক্তিশালী, যাতে টেফলন টিউবগুলো অতিরিক্ত তাপে গরম না হয়।
আরেকটি টিপ: তারগুলোকে কোয়ার্টজ টিউব থেকে দূরে রাখুন। যদি তারগুলো কোয়ার্টজ টিউবের সংস্পর্শে আসে, তাহলে তারগুলো পুড়ে যাবে।
সঠিক দূরত্ব বজায় রাখুন এবং সঠিক সুরক্ষা ব্যবস্থা নিন; তাহলে আপনি প্রতিবারই স্থিতিশীল ও পরিষ্কার পরিবেশ পাবেন।