Reduzierung von Kohlenstoff und Ozon bei der Erwärmung in Halbleitern Wer schon einmal in einem Reinraum gearbeitet hat, kennt die Herausforderungen....

Bei der Wärmebehandlung zeigt sich die thermische Drift nicht als Warnlicht an – vielmehr wird sie als Mangel in den Ergebnisberichten festgestellt....