Controller für digitale Infrarot Trockner
Wie man Halbleiter richtig trocknet – ohne Energie zu verschwenden
Wenn man mit Wafern arbeitet, muss die Feuchtigkeit so schnell wie möglich...
FOUP (Front Opening Unified Pod) Trockner
Auf dem Lithographie-Floor ist ein nasser FOUP, der aus dem Sink zurückkommt, ein Problem, das man eher spürt als sieht. Restfeuchtigkeit verursacht...