Manteniendo las obleas MEMS impecables durante el proceso de secado
Si trabajas en una sala limpia de clase 100, ya sabes cuál es el problema: una sola partícula de polvo o un vapor químico puede arruinar todo tu lote de productos.
El problema es que la mayoría de los elementos calefactores están bastante sucios. Cuando se calientan, tienden a desprender fragmentos microscópicos o a liberar compuestos orgánicos volátiles, lo cual puede dañar las obleas. Es como tener un desastre listo para ocurrir.
Por eso utilizamos lámparas de cuarzo sintético de alta pureza. Ellas no causan ese problema.
Por qué utilizamos cuarzo puro
Utilizamos sílice fundida porque es muy resistente. El vidrio estándar o el cuarzo barato tienden a agrietarse o romperse cuando se calientan. Pero esta materia no.
Lo mejor es que la radiación infrarroja atraviesa directamente la película líquida que cubre las obleas. Esto permite que la humedad se evapore rápidamente. Como nada llega a tocar las obleas, no hay riesgo de arañazos o suciedad en su superficie.
Ajustando la temperatura adecuada
Nos centramos en el uso de radiación infrarroja de onda corta. Esta radiación llega a la superficie de las obleas casi al instante.
Es rápido. Muy rápido. Y eso es importante, porque si el disolvente tarda demasiado en evaporarse, aparecerán manchas de agua en las obleas.
Dedicamos mucho tiempo a ajustar la potencia y el voltaje para que el calor se distribuya uniformemente por toda la oblea. Un consejo: si aumentas la potencia para acelerar el proceso, asegúrate de que el soporte de las obleas pueda soportar ese calor. De lo contrario, las obleas se deformarán.
Diseño eficiente
Intentamos mantener un diseño simple. Sin carcasas voluminosas que puedan acumular polvo.
Las conexiones son mínimas, lo que significa que hay menos cosas que pueden romperse. También utilizamos sellos especiales para evitar que las partículas pasen desde los extremos eléctricos hacia la zona de calentamiento.
Un último consejo: estas lámparas se calientan mucho. Recomendamos utilizar un sistema de enfriamiento dedicado para sus extremos. Así, los conectores no se dañarán durante los largos procesos de producción.