En el taller de fabricación, una oblea que sale del proceso de limpieza con marcas causadas por el agua, un estrato de fotoreactivos que no se ha secado adecuadamente, o un material de encapsulación que no se ha curado de manera uniforme, no solo aumentan el tiempo de procesamiento, sino que también dañan las obleas. Por eso, la calefacción por infrarrojos debe ser predecible: se necesita un control preciso de la temperatura, sin que se añadan partículas ni se generen estrés térmico en las obleas.
Lo que es importante desde el punto de vista técnico
Hemos diseñado este calentador por infrarrojos después del proceso de limpieza, utilizando ondas cortas de luz IR y un diseño térmico basado en cuarzo. Esto permite lograr una uniformidad en la temperatura de la oblea de ±0.1°C. Este nivel de precisión es crucial para mantener el control de las dimensiones críticas y del perfil de los bordes de las obleas. El control en bucle cerrado asegura que la temperatura se mantenga estable, incluso cuando se produce un aumento rápido de la temperatura. El hardware es compatible con salas limpias de clase 1–100, y los emisores y componentes están diseñados para generar prácticamente cero partículas.
Por qué funciona bien en la producción
Un solo calentador puede manejar múltiples etapas: el secado de las obleas después de la limpieza, el secado de los fotoreactivos durante el proceso de litografía, y el secado de los componentes en la fase final de producción. Esto permite obtener mayor eficiencia, ya que la temperatura se alcanza rápidamente. Además, la repetibilidad de la temperatura reduce los defectos en los lotes producidos. El consumo de energía también disminuye, ya que la transmisión de energía por infrarrojos es eficiente y la masa térmica se mantiene baja. La fiabilidad está garantizada, ya que los dispositivos funcionan 24/7 con poca variación de temperatura, lo que evita tiempos de inactividad no planificados y reduce la necesidad de reservas de repuesto.
Qué hay que tener en cuenta al planificar su uso
La instalación consiste en adaptar el tamaño del equipo a las necesidades del proceso, además de conectar los sistemas de alimentación de gas y extracción de aire. También es necesario asegurarse de que las conexiones del PLC estén correctamente configuradas. Se recomienda realizar una prueba inicial para ajustar los parámetros de calentamiento según las características de los materiales utilizados. Este calentador funciona mejor con obleas de tamaño estándar y paquetes planos. Si se utilizan materiales curvos o no estándar, probablemente sea necesario utilizar un dispositivo especial para mantener la uniformidad de la temperatura donde sea necesario.