در طبقه لیتوگرافی، آن FOUP مرطوب که از سینک بازمیگردد، مشکلی است که قبل از دیدن آن، احساس میکنید. رطوبت باقیمانده باعث انحراف در پخت نرم، تغییرات در عرض خط و ضایعات میشود. شما به FOUP کاملاً خشک نیاز دارید قبل از اینکه به ریل برسد و نیاز دارید که این حالت خشک قابل تکرار باشد، بار بعد بار.
آنچه از نظر فنی مهم است
ما هدفگذاری میکنیم تا یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در ±0.1°C در سراسر حامل داشته باشیم تا هر ویفر همان بودجه حرارتی را دریافت کند. ماژول هیتر از تابش مادون قرمز کوتاهموج با پنجرههای کوارتز استفاده میکند که پاسخ سریع و خط دید به وجود میآورد و تأخیر حرارتی بین نقطه تنظیم و بدنه FOUP را کاهش میدهد. این محفظه برای عملیات اتاق تمیز کلاس 1–100 ساخته شده است، با درزهای مهر و موم شده و مسیری هوای لامیناری که تولید ذرات را در طول چرخه به صفر نگه میدارد.
کنترل به صورت حلقه بسته درست در رابط FOUP انجام میشود، نه در بلوک هیتر. این بدان معناست که دمایی که شما فرمان میدهید، دمایی است که شما در جایی که اهمیت دارد اندازهگیری میکنید.
چرا در خط کار میکند
خشککن به طور مستقیم به جریان handling FOUP وارد میشود، بنابراین انتقال از مرطوب به خشک، صفی در ایستگاه پخت ایجاد نمیکند. نقاط تنظیم پخت نرم و پخت سخت قابل تکرار باقی میمانند و دیگر تغییرات در CD و ضخامت در بین بارها مشاهده نمیشود.
مصرف انرژی برای پردازش FOUP با توان بالا کالیبره شده است، بنابراین شما قدرت بیاستفاده را بدون از دست دادن نرخ افزایش کاهش میدهید. قابلیت اطمینان برای عملیات 24/7 طراحی شده است، با اجزایی که برای عمر طولانی و فواصل نگهداری قابل پیشبینی انتخاب شدهاند، و زمان خرابی غیرمنتظره را به صفر میرسانند.
جزئیاتی که شما را اذیت میکند
رابطهای مکانیکی FOUP بسته به OEM متفاوت است، بنابراین قبل از نصب، هندسه و همراستایی کانکتور را تأیید کنید. این واحد به یک مدار برق اتاق تمیز اختصاصی و هوای ورودی کنترل شده نیاز دارد. انتظار میرود یک دوره راهاندازی کوتاه برای قفل کردن پروفایلهای افزایش و خیسکردن برای دسته مقاومتی خاص شما وجود داشته باشد.
زمانی که کالیبره شد، آن را مانند هر عنصر فرآیند ثابت دیگر در نظر بگیرید. آن را مستند کنید، کنترل کنید و آن خط را حفظ خواهد کرد.