دیگر اجازه ندهید لامپهای آسیبدیده، باعث از بین رفتن محصولات شما شوند!
در کارخانههای تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز، واقعاً یک فاجعه است. وقتی یکی از این لولههای کوارتزی خراب میشود، نه تنها تولید حرارت متوقف میشود، بلکه تکههای شیشهای و مواد شیمیایی نیز روی ویفرها ریخته میشوند. این امر باعث آلوده شدن کل محموله سیلیکونی میشود؛ این کار هم پرهزینه است و هم کاملاً قابل جلوگیری است.
چرا این لامپها خراب میشوند؟
لامپهایی با توان بالا، در شرایط بسیار سختی کار میکنند؛ آنها مدام در معرض گرمای شدید و فشار بالا قرار دارند. در نهایت، لوله کوارتزی خراب میشود، خلأ از بین میرود و رشته الکتریکی لامپ نیز سوخته میشود. اگر از سیستم باز استفاده کنید، تمام این ذرات روی ویفرها میافتند.
راهحل ساده: بستهبندی ایمن
برای جلوگیری از این مشکل، از بستهبندی ایمن برای جداسازی لامپ از ویفرها استفاده میکنیم. این بستهبندی، در واقع یک پوشش مقاوم در برابر گرماست؛ اگر لامپ خراب شود، این پوشش ذرات را در خود نگه میدارد و ویفرها تمیز باقی میمانند.
ما همچنین به مواد استفاده شده توجه میکنیم؛ از موادی با میزان گاز کم استفاده میکنیم تا هیچ ترکیب شیمیایی عجیبی در اتاق تمیزسازی وجود نداشته باشد. این پوشش به اندازه کافی محکم است تا جلوی حرکت ذرات را بگیرد؛ اما در عین حال، به کوارتز امکان تنفس و انبساط در هنگام گرم شدن را میدهد.
تعادل مناسب
البته، استفاده از این پوشش به معنای وجود یک لایه اضافی بین لامپ و ویفر است؛ به همین دلیل، کارایی لامپ در تولید امواج مادون قرمز کمی کاهش مییابد. شاید مدت زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کمی طولانیتر شود؛ اما باید بگوییم که صبر کردن چند ثانیه، بهتر از از بین رفتن کل محصولات به دلیل خرابی یک لامپ است.
چند نکته برای عملکرد بهتر:
مطمئن شوید که منبع تغذیه لامپ، با امپدانس بستهبندی سازگار باشد؛ تا لبههای پوشش دچار گرمای بیش از حد نشوند. همچنین، جریان هوا باید در اطراف لامپ جریان داشته باشد تا گرمای اضافی از بین برود.
اینقدر ساده است!