در سالن تولید، پخت نرم و پخت سخت کوچکترین انحراف دما را تحمل نمیکنند. یک نقطه داغ با اختلاف ۲ درجه سانتیگراد روی ویفر میتواند باعث نوسانات عرض خط شود که منجر به ضایعات کل دسته میشود. ما پوشش کوارتز را برای لامپهای IR کارخانه ساختیم تا این عدم قطعیت را از بودجه حرارتی حذف کنیم.
آنچه زیر پوسته اهمیت دارد
ما از کوارتز با خلوص بالا برای پوشش استفاده میکنیم چون انتقال پایدار در باند IR کوتاهتا میانموج را حفظ میکند و پروفایل انبساط حرارتی آن هندسه را در چرخههای سریع حرارتی ثابت نگه میدارد. این به شما یکنواختی سطح ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد روی سطح پخت میدهد، بنابراین پروفایلهای فوتورزیست از دستهای به دسته دیگر تکرارپذیر هستند. این پوشش برای اتاق تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است و هندسه آن برای گرمایش تابشی لایهای با تولید ذرات صفر طراحی شده است—بدون خروج گاز، بدون پوستهریزی و بدون آلودگی.
چرا در تولید مقاوم است
در مسیرهای لیتوگرافی و ماژولهای پخت، پوشش دما را سریعتر تثبیت میکند و نقطه تنظیم را برای مدت طولانیتری حفظ میکند. این امکان را میدهد که زمان پخت را بدون کاهش کیفیت فیلم کاهش دهید، گرم شدن را کوتاه کنید و مصرف انرژی را کاهش دهید. عملکرد آن بیش از ۵۰۰۰ ساعت ثابت میماند و افت شدت کمتر از ۵ درصد است، بنابراین زمان کمتری را صرف تعویض قطعات در پنجرههای تعمیرات میکنید و زمان بیشتری برای اجرای ویفرها دارید. پنجرههای فرایند تنگتر شده و نوساناتی که در غیر این صورت باعث بازکاری میشدند، دیگر ظاهر نمیشوند.
آنچه هنگام نصب باید رعایت شود
تراز کردن باید دقیقاً روی محور کانونی لامپ انجام شود. حتی چند درجه انحراف باعث گرمایش نامتقارن و انحراف در ابعاد بحرانی میشود. لامپ را از نظر نوع کانکتور، توان و طول پوشش مطابقت دهید. پوشش مقاوم است ولی کوارتز نسبت به شوک مکانیکی حساس است—آن را با ابزار و نه با دست خالی جابجا کنید. وقتی تراز و مطابقت برقرار شد، مانند یک عنصر حرارتی پیشبینیپذیر عمل میکند که میتوانید در شیفتهای متوالی روی آن حساب کنید.