در خط تولیدی با طول ۳۰۰ میلیمتر، اختلاف دمایی ۱۵ دقیقهای در حین فرآیند گرم کردن فوتورزیست، میتواند منجر به از بین رفتن کل محموله تولید شده شود. به همین دلیل است که ما لامپهای گرمایشی با کیفیت بسیار بالا را برای اتاقهای لیتوگرافی طراحی کردهایم. در این اتاقها، یکنواختی دمایی و عمر طولانی لامپها اهمیت زیادی دارد؛ زیرا این عوامل تعیینکننده کیفیت تولید هستند.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
این لامپ، یک ساطعکننده مادون قرمز با طول موج کوتاه را درون یک پوشش کوارتزی قرار داده است؛ این ساطعکننده، آب بسیار خالص را در نقطه مورد استفاده گرم میکند و دقت دمایی آن حدود ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است. این امر باعث یکنواختی دمایی در سراسر سطح ویفر میشود؛ بنابراین فرآیندهای گرم کردن نیز در محدوده مشخصی انجام میشوند. این لامپ برای اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ هیچ ذرهای تولید نمیکند و در حالت کار مداوم، هیچ گازی از آن خارج نمیشود. خروجی این لامپ قابل پیشبینی است؛ اختلاف دمایی آن در طول ۵٬۰۰۰ ساعت کاری کمتر از ۵٪ است. همچنین، پاسخ حرارتی این لامپ به اندازه کافی سریع است تا بتواند با سرعت بالای فرآیندهای تولید همگام شود.
پیامدهای این امر در عمل:
تعداد بارهای گرم کردن کاهش مییابد؛ کنترل اندازههای حیاتی بهتر میشود؛ پروفایلهای فوتورزیست نیز در هر محموله تولیدی یکسان خواهند بود. خط تولید میتواند ۷ روز در هفته، ۲۴ ساعت در روز کار کند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ همچنین نیازی به تعویض لامپها نیست و تعمیرات نیز میتواند به صورت برنامهریزی شده انجام شود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا لامپ فقط در زمان نیاز گرما تولید میکند؛ بنابراین هزینه تولید نیز کاهش مییابد.
چه چیزهایی برای انجام صحیح این کار لازم است؟
نصب لامپ به معنای تطبیق آن با اتصالات حرارتی خط تولید است؛ سپس باید رسانایی آب و پایداری جریان آب بررسی شود. حتی کوچکترین تغییرات شیمیایی میتواند دقت تنظیمات دمایی را مختل کند. بنابراین، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پارامترهای PID برای شرایط خاص اتاق تولید تنظیم شوند. پس از این کار، فرآیند تولید میتواند به طور مداوم ادامه یابد؛ و همین یکنواختی است که باعث ادامه فعالیت خط تولید میشود.