Sur le plancher de fabrication, le séchage du photoresist n’est pas une question de commodité. C’est la frontière entre des motifs répétables et les déchets. Lorsque vos lampes halogènes ou NIR dérivent, l’uniformité du séchage doux s’effondre et le contrôle du CD se relâche. Vous ne regardez pas seulement les retouches — vous perdez des plaquettes, manquez des lots et brûlez le budget thermique à la poursuite de la variabilité au lieu de faire fonctionner le processus.
Ce qui compte en coulisses Nous spécifions ces pièces de rechange thermiques pour la lithographie et les étapes thermiques du photoresist, et elles maintiennent une uniformité de température au niveau des plaquettes dans une fourchette de ±0,1 °C sur la surface de cuisson. Les éléments en quartz et à ondes courtes fournissent une chaleur rapide et propre avec un contrôle spectral précis, tandis que les chauffages à base de fibre de carbone apportent stabilité mécanique et faible dégazage. Chaque unité est classée pour une opération en salle blanche de classe 1 à 100, et la génération de particules est intégrée dans la conception. Comptez sur une fiabilité 24/7, avec des données de durée de vie soutenant une sortie stable au-delà de 5 000 heures et un minimum de dérive, afin que vos profils de séchage doux et dur restent cohérents d’un lot à l’autre. Dans la fabrication de plaquettes, le rendement repose sur la stabilité. Une uniformité thermique plus stricte réduit le stress du photoresist et renforce la répétabilité du CD, ce qui signifie moins d’excursions forçant les retouches et la requalification. L’adéquation des lampes, des chauffages et des modules à votre enveloppe de processus augmente le temps de fonctionnement et réduit la recherche de pièces de rechange d’urgence. Une performance prévisible simplifie également la qualification thermique, raccourcissant les changements de configuration et libérant la marge que vous réservez pour l’incertitude. Voici les détails pratiques qui permettent son fonctionnement. Associez la pièce de rechange à l’outil. Vérifiez l’interface de connecteur exacte, les tolérances de montage et le profil de tension/puissance avant l’installation — la performance thermique dépend du contact mécanique et de l’alignement optique. Intégrez des procédures de refroidissement et de cuisson contrôlées pour éviter les défauts liés à l’humidité. Ces pièces de rechange s’adaptent à la plupart des modules de cuisson standard, mais avec des outils anciens, vous pourriez avoir besoin d’une re-caractérisation rapide de la cartographie point de consigne à plaquette.