מייבש FOUP (יחידת פוד אחודה עם פתיחה קדמית)

בקומת הליטוגרפיה, ה-FOUP הרטוב שמגיע מהכיור הוא בעיה שניתן להרגיש לפני שרואים אותה. לחות שנותרה גורמת לסטיה בתהליך ה-soft bake, לחריגות בקווי רוחב...