תרמופל למחמם מוליך למחצה

על רצפת ה-wafer, בקר הטמפרטורה מציג 120.0°C. ה-wafer מונח על הפלטה המחוממת, ממתין ל-soft bake שמגדיר את פרופיל ה-photoresist. אך תצוגת הבקר היא רק...