300 मिमी वाली लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 15 मिनट का तापमान-परिवर्तन ही पूरे उत्पादन-सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। इसी कारण हमने लिथोग्राफी प्रक्रिया हेतु अत्यंत शुद्ध पानी को गर्म करने हेतु विशेष लैंप बनाए। ऐसे लैंपों से तापमान में एकरूपता बनी रहती है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती रहती है।
कन्सोल के नीचे क्या महत्वपूर्ण है?
इन लैंपों में क्वार्ट्ज कवर में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उत्सर्जक होता है; इसके कारण अत्यंत शुद्ध पानी उपयोग-स्थल पर ही गर्म हो जाता है, एवं तापमान में ±0.1°C की स्थिरता बनी रहती है। इससे सब्सट्रेट पर तापमान में एकरूपता बनी रहती है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया सही तरीके से चलती रहती है। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकते हैं; इनसे कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं निरंतर संचालन के दौरान भी कोई गैस नहीं निकलती। इन लैंपों से प्राप्त आउटपुट हमेशा स्थिर रहता है; 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी तापमान में 5% से अधिक की विचलनता नहीं होती। इन लैंपों की तापीय प्रतिक्रिया इतनी तेज होती है कि उच्च गति वाली उत्पादन-प्रक्रियाओं में भी इनका उपयोग संभव है।
इसका व्यावहारिक प्रभाव क्या है?
उत्पादन-प्रक्रिया में व्यवधान कम हो जाते हैं। उत्पादों के आकार/आकृतियों में अधिक सटीकता आ जाती है। लाइन 24×7 चलती रहती है, बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के। ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल आवश्यकता के अनुसार ही गर्म होता है। तापमान में स्थिरता रहने से अपशिष्ट भी कम हो जाता है, एवं प्रति वेफर लागत भी कम हो जाती है।
क्या ध्यान देना आवश्यक है?
लैंप को उचित तरीके से स्थापित करना आवश्यक है; साथ ही पानी की चालकता एवं प्रवाह-स्थिरता की भी जाँच करनी आवश्यक है। रासायनिक संरचना में थोड़ा भी बदलाव होने से तापमान-नियंत्रण प्रभावित हो सकता है। अपने उत्पादन-चैंबर की विशेषताओं के अनुसार PID सेटिंग्स को समायोजित करना आवश्यक है। ऐसा करने से उत्पादन-प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती रहती है।