Mengurangi Emisi Karbon dan Ozon dalam Proses Pemanasan di Semikonduktor
Jika Anda pernah berada di ruang bersih, Anda pasti tahu betapa sulitnya kondisinya. Diperlukan ketelitian termal yang sangat tinggi, tetapi alat-alat yang digunakan seringkali menimbulkan masalah tersendiri.
Lampu inframerah berfrekuensi pendek memiliki kecenderungan untuk memancarkan gelombang cahaya dengan panjang gelombang di bawah 200 nm. Masalahnya? Gelombang cahaya tersebut akan bereaksi dengan oksigen dan menghasilkan ozon. Di lingkungan steril, ozon merupakan “hama” yang merusak peralatan dan memaksa sistem HVAC bekerja lebih keras untuk membersihkan udara.
Kami telah menemukan cara untuk mengatasi hal ini. Kami menggunakan tabung kuarsa yang bebas ozon.
Cara kerjanya
Prinsipnya cukup sederhana. Kami menggunakan kuarsa yang telah diberi lapisan khusus untuk menahan gelombang vakum ultraviolet (VUV). Dengan memblokir gelombang cahaya tersebut, ozon tidak akan terbentuk sama sekali.
Yang paling bagus adalah Anda tidak perlu lagi bergantung pada sistem penghilang ozon yang membutuhkan daya listrik yang besar. Beban energi fasilitas Anda akan berkurang, dan peralatan Anda pun akan bertahan lebih lama.
Mencapai Tujuan “Pabrik Hijau”
Untuk mencapai kesetaraan karbon, bukan hanya soal dari mana sumber daya listrik berasal, tetapi juga bagaimana cara menggunakannya.
Oven konvensional seperti membakar seluruh ruangan hanya untuk mempertahankan suhu kopi—Anda memanaskan seluruh ruangan. Sedangkan teknologi inframerah berbeda; panasnya ditransfer secara langsung ke wafer atau substrat, tanpa memanaskan bagian lainnya.
Yang paling penting adalah waktu “istirahat” alat tersebut. Lampu inframerah dapat panas dalam hitungan detik. Anda tidak perlu membakar banyak energi untuk mempertahankan suhu oven saat sedang mengganti alat. Ini efisien dan tentunya lebih hemat biaya listrik.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
Ini bukanlah solusi ajaib. Ada beberapa hal yang perlu diperhatikan.
Ketika gelombang VUV diblokir, distribusi spektrum cahaya akan berubah sedikit. Tergantung pada bahan yang digunakan, tingkat penyerapan cahaya mungkin akan berubah. Anda perlu memeriksa kembali waktu pemanasan agar profil termal tetap sesuai kebutuhan.
Selain itu, jika Anda menggunakan lampu berdaya tinggi, perhatikan juga suplai listriknya. Tabung tersebut bisa sensitif terhadap fluktuasi tegangan. Jika kualitas listrik buruk, filamen lampu akan cepat rusak.
Kuncinya adalah menyamakan impedansi lampu dengan kontroler yang digunakan. Dengan begitu, sistem Anda akan beroperasi dengan lancar dalam jangka waktu yang lama.