Riduzione delle emissioni di carbonio e ozono nella produzione di semiconduttori
Se avete trascorso del tempo in una sala pulita, conoscete bene le difficoltà legate a questo tipo di ambiente. È necessaria una precisione termica estrema, ma gli strumenti utilizzati spesso creano dei problemi.
Le lampade ad infrarossi a onda corta emettono spesso raggi con lunghezza d’onda inferiore a 200 nm. Il problema? Questi raggi interagiscono con l’ossigeno e producono ozono. In un ambiente sterile, l’ozono rappresenta davvero un problema: distrugge gli strumenti utilizzati e costringe i sistemi di ventilazione a funzionare continuamente per purificare l’aria.
Abbiamo trovato un modo per evitare questo problema: utilizziamo tubi di quarzo privi di ozono.
Come funziona realmente
È semplice fisica: utilizziamo quarzo dopato o rivestimenti specifici per bloccare quelle lunghezze d’onda. In questo modo si previene la formazione di ozono fin dall’inizio.
La cosa migliore è che non è più necessario fare affidamento su quei sistemi complessi e energeticamente dispendiosi per eliminare l’ozono. Il consumo energetico diminuisce, e gli strumenti durano di più.
Vincere la battaglia per una “fabbrica verde”
Raggiungere la neutralità carbonica non dipende soltanto da dove si acquista l’energia, ma anche da come viene utilizzata.
I forni tradizionali funzionano come se si volesse riscaldare tutta la casa solo per mantenere calda una tazza di caffè: si riscalda l’intera stanza. Gli infrarossi invece funzionano in modo diverso: trasferiscono il calore direttamente sul materiale da trattare, ignorando il resto.
Il vero vantaggio è il tempo di attivazione: le lampade ad infrarossi si scalda in pochi secondi. Non è necessario consumare tantissima energia per mantenere caldo un forno enorme mentre si cambiano gli strumenti. È veloce, efficiente… e molto più economico dal punto di vista energetico.
Cose da tenere in considerazione
Non si tratta di una soluzione magica: ci sono alcune cose da prendere in considerazione.
Quando si filtra la gamma di lunghezze d’onda VUV, la distribuzione spettrale cambia leggermente. A seconda del materiale utilizzato, il tasso di assorbimento può variare. È necessario verificare nuovamente i tempi di riscaldamento per assicurarsi che il profilo termico rimanga quello desiderato.
Inoltre, se si utilizzano lampade ad alta potenza, è necessario prestare attenzione alle fonti di alimentazione. Queste lampade possono essere sensibili alle fluttuazioni di tensione. Se la qualità dell’energia è scadente, i filamenti si bruciano molto velocemente.
Il trucco è abbinare perfettamente l’impedenza della Lampada al controllore utilizzato. In questo modo, il sistema funzionerà correttamente per lunghi periodi.