Nella fase di produzione, se una wafer esce dalla fase di pulizia con delle macchie d’acqua, se lo strato di fotoresist non viene trattato correttamente oppure se l’involucro che avvolge la wafer si solidifica in modo disomogeneo, ciò non solo aumenta i tempi di ciclo di lavorazione, ma può anche danneggiare la stessa wafer. Ecco perché il riscaldamento a infrarossi deve essere preciso: è necessario un controllo rigoroso della temperatura, senza che vengano generate particelle o che la wafer subisca stress termici.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato il riscaldatore a infrarossi per l’uso dopo la pulizia, utilizzando onde a corta lunghezza e un design termico basato sul quarzo. In questo modo si ottiene una uniformità alla temperatura di ±0,1°C. Il profilo termico rimane stabile, permettendo così una cottura appropriata del fotoresist. La precisione della temperatura è fondamentale per mantenere sotto controllo le dimensioni critiche e il profilo delle pareti laterali della wafer.
Il controllo a circuito chiuso garantisce una gestione efficace dell’energia termica, anche quando si procede a un aumento rapido della temperatura. L’hardware è adatto per ambienti puliti di classe 1–100; inoltre, gli emettitori e i componenti utilizzati producono praticamente nessuna particella.
Perché funziona bene in produzione
Un unico riscaldatore può gestire diversi passaggi: essiccazione della wafer dopo la pulizia, cottura del fotoresist durante la litografia, e solidificazione dell’involucro della wafer nella fase finale di produzione. Si ottiene così un miglior rendimento, poiché la temperatura viene raggiunta rapidamente. Inoltre, grazie alla precisione della temperatura, si riducono i difetti presenti nelle wafer prodotte.
Anche il consumo energetico diminuisce: il sistema a infrarossi è efficiente e la massa termica rimane bassa. L’affidabilità è garantita dal funzionamento continuo delle unità, 24/7, con escursioni termiche minime. In questo modo non si accumulano tempi di fermata imprevisti e non è necessario tenere inventari di ricambi.
Cosa bisogna prendere in considerazione
L’installazione richiede che vengano presi in considerazione le dimensioni dello strumento, nonché le connessioni per il gas e l’aspirazione degli effluenti. È inoltre necessario assicurarsi che le interfaccie con il PLC siano corrette. È consigliabile effettuare una breve fase di collaudo per regolare i parametri di riscaldamento in base ai materiali utilizzati.
Il riscaldatore funziona meglio su wafer di dimensioni standard e su pacchetti piatti. Se si utilizzano substrati curvi o non standard, sarà necessario utilizzare un dispositivo personalizzato per mantenere l’uniformità delle condizioni termiche.