Menghentikan Masalah Kontaminasi Wafer
Mari kita jujur: apabila lampu IR rosak semasa proses pengeluaran yang intensif, itu merupakan bencana sebenar. Bukan sahaja menyebabkan gangguan operasi, tetapi juga kekacauan yang teruk. Serpihan kaca dan filamen tungsten akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Dalam sekelip mata, keseluruhan produk yang dihasilkan menjadi tidak berguna, dan anda perlu membersihkan seluruh ruang pengeluaran tersebut. Ini merupakan masalah yang sangat merepotkan.
Lebih daripada sekadar cermin reflektor
Itulah sebabnya kami tidak menganggap reflektor aluminium sebagai alat yang hanya berfungsi untuk memantulkan radiasi IR sahaja. Memang benar, reflektor tersebut berfungsi untuk memantulkan radiasi IR kembali ke wafer agar proses pengeluaran berjalan dengan efisien. Namun, ia juga berfungsi sebagai lapisan perlindungan pertama.
Kami menggunakan aluminium berkualiti tinggi dengan lapisan anodisasi khusus. Mengapa? Kerana apa yang paling tidak diinginkan ialah reflektor tersebut pecah atau melepaskan gas semasa proses pemanasan dan penyejukan. Kami juga memastikan jarak antara lampu dan dinding reflektor tetap sempit. Dengan cara ini, serpihan yang terhasil tidak akan tersebar ke mana-mana.
Mencapai keseimbangan antara kuasa dan keselamatan
Menggunakan lampu dengan kuasa maksimum memang bagus untuk proses pengeluaran, tetapi ia boleh menyebabkan masalah haba yang berlebihan. Untuk mengelakkan satu lampu yang rosak daripada merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan, kami menggunakan pelindung khas.
Anggaplah ia sebagai “jaring keselamatan”. Kami meletakkan tiub kuarsa atau safir di antara lampu dan wafer. Jika lampu tersebut rosak, tiub pelindung ini akan menangkap serpihan tersebut. Reflektor aluminium pula berfungsi untuk mengekalkan posisi lampu dengan tepat. Ini dapat mengelakkan masalah haba yang tidak sekata, yang biasanya menyebabkan lampu rosak lebih awal.
Kompromi yang perlu dibuat
Masalahnya ialah, penambahan tiub pelindung dan reflektor yang lebih kuat akan meningkatkan berat komponen pemanas tersebut. Akibatnya, masa yang diperlukan untuk memanaskan komponen tersebut akan menjadi lebih lambat berbanding jika menggunakan lampu biasa. Namun, ini merupakan harga yang kecil untuk mengelakkan masalah kontaminasi wafer.
Perlu diingat: anda perlu menyesuaikan pengawal PID agar sesuai dengan beban haba yang lebih tinggi ini. Setelah itu, suhu yang dihasilkan akan tetap stabil seperti yang diharapkan.