Di lantai litografi, FOUP basah yang kembali dari sink adalah masalah yang dapat dirasakan sebelum dilihat. Kelembapan residual mendorong penyimpangan pemanggangan lembut, penyimpangan lebar garis, dan sisa. Anda perlu FOUP dalam keadaan kering sebelum ia memasuki trek, dan keadaan kering itu perlu dapat diulang, dari satu lot ke lot yang lain.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Kami menyasarkan keseragaman suhu pada wafer pada ±0.1°C di seluruh pengangkut supaya setiap wafer melihat anggaran thermal yang sama. Modul pemanas menggunakan inframerah gelombang pendek dengan tingkap kuarza, memberikan respons cepat, garis pandang langsung dan mengurangkan kelewatan thermal antara titik set dan badan FOUP. Ruang ini dibina untuk operasi bilik bersih Kelas 1–100, dengan jahitan yang tertutup dan laluan udara laminar yang mengekalkan penghasilan partikel pada sifar semasa kitaran. Kawalan adalah gelung tertutup tepat di antara FOUP, bukan di blok pemanas. Ini bermakna suhu yang anda perintahkan adalah suhu yang anda ukur di tempat yang penting.
Kenapa ia berfungsi di barisan
Pengering jatuh terus ke dalam aliran pengendalian FOUP, jadi peralihan daripada basah ke kering tidak mencipta barisan di stesen pemanggangan. Titik set pemanggangan lembut dan pemanggangan keras kekal boleh diulang, dan anda berhenti melihat penyimpangan variasi CD dan ketebalan di seluruh lot. Penggunaan tenaga dikalibrasi untuk pemprosesan FOUP berkeupayaan tinggi, jadi anda mengurangkan kuasa yang tidak digunakan tanpa mengorbankan kadar ramp. Kebolehpercayaan direkayasa untuk operasi 24/7, dengan komponen yang dipilih untuk jangka hayat yang panjang dan selang penyelenggaraan yang boleh diramalkan, mengekalkan waktu henti tidak dirancang pada sifar.
Butiran yang boleh menyukarkan anda
Antara muka mekanikal FOUP berbeza mengikut OEM, jadi sahkan geometri dan penjajaran penyambung sebelum anda memasang. Unit ini memerlukan litar kuasa bilik bersih yang khusus dan udara masuk yang terkawal. Jangkakan tempoh pelaksanaan yang singkat untuk mengunci profil ramp dan soak untuk susunan tahan yang spesifik anda. Setelah ia dikalibrasi, anggap ia seperti mana-mana elemen proses tetap. Dokumentasikan, kawal, dan ia akan mengekalkan barisan.