Hentikan masalah yang disebabkan oleh lampu yang rosak daripada merosakkan kualiti wafer anda
Dalam kilang semikonduktor yang beroperasi pada skala besar, kegagalan lampu inframerah merupakan situasi yang sangat buruk. Apabila salah satu tiub kuarsa tersebut rosak, ia bukan sahaja menghentikan pengeluaran haba, tetapi juga menyebabkan serpihan kaca dan bahan kimia yang berbahaya terkena pada wafer tersebut. Satu kegagalan sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut. Ini merupakan masalah yang serius, mahal untuk diatasi, namun sebenarnya ia boleh dielakkan.
Mengapa lampu tersebut rosak?
Lampu berkuasa tinggi sentiasa berhadapan dengan tekanan yang tinggi akibat suhu dan kepadatan tenaga yang ekstrem. Ini menyebabkan tekanan yang besar pada tiub kuarsa tersebut. Akhirnya, tiub tersebut akan retak, vakum di dalamnya hilang, dan filamen lampu akan terbakar. Jika sistemnya tidak dilindungi dengan baik, semua serpihan tersebut akan jatuh ke atas wafer.
Penyelesaian yang mudah: Pembungkusan yang selamat
Kita boleh mengatasi masalah ini dengan menggunakan pembungkusan yang dapat melindungi wafer daripada haba. Pembungkusan ini berfungsi sebagai lapisan pelindung yang tahan haba. Jika lampu tersebut rosak, pembungkusan ini akan menahan serpihan tersebut, sehingga wafer tetap bersih.
Kami juga memilih bahan-bahan yang sesuai untuk digunakan. Kami menggunakan bahan yang mengeluarkan gas yang sedikit, agar tidak ada bahan organik yang berbahaya di dalam bilik bersih tersebut. Pembungkusan ini direka agar cukup ketat untuk menghalang serpihan daripada masuk, tetapi masih membolehkan tiub kuarsa untuk mengembang apabila panas.
Kompromi yang perlu diterima
Tambahan lapisan pembungkusan ini bermakna ada lapisan tambahan antara lampu dan wafer. Ini akan menyebabkan kecekapan lampu inframerah sedikit berkurangan. Mungkin diperlukan masa yang lebih lama untuk mencapai suhu yang diinginkan. Namun, menunggu sebentar adalah lebih baik daripada membuang banyak wafer kerana satu lampu yang rosak.
Beberapa tips untuk memastikan operasi berjalan lancar: Pastikan sumber kuasa disesuaikan dengan impedans komponen yang dibungkus, supaya tepi pembungkusan tidak terlalu panas. Selain itu, pastikan aliran udara berjalan lancar di sekeliling pembungkusan untuk mengelakkan haba terkumpul.
Sederhana saja.