Hentikan pembaziran masa menunggu bilik bersih mencapai suhu yang diinginkan.
Jika anda terlibat dalam proses pemprosesan semikonduktor yang kompleks, pasti anda tahu betapa menyakitkannya saat-saat menunggu tersebut. Anda pasti faham maksud saya – masa yang terbuang akibat proses pemanasan yang lambat.
Kebanyakan sistem menggunakan cara pengudaraan paksa. Ini merupakan proses yang perlahan. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian udara tersebut memanaskan ruangan tersebut. Akhirnya, wafer akan mendapat haba yang diperlukan. Namun, proses ini memakan masa yang lama.
Cara yang lebih cepat? Penggunaan pemanas inframerah.
Pemanas inframerah tidak memerlukan udara sebagai medium untuk menghantar haba. Sebaliknya, ia menghantar radiasi elektromagnetik terus ke objek yang ingin dipanaskan.
Rasa puas hati sangat besar apabila melihat hasilnya. Anda tidak perlu menunggu udara mencapai suhu yang diinginkan; suhu dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja. Ini membolehkan proses pemprosesan berjalan dengan lebih cepat.
Selain itu, mari kita bincangkan tentang masalah kotoran. Pengudaraan paksa akan menyebabkan debu dan zarah-zarah lain berterbangan di dalam bilik bersih. Walaupun menggunakan penapis HEPA yang canggih sekalipun, pengudaraan paksa tetap boleh merosakkan wafer silikon. Pemanas inframerah pula tidak menghasilkan aliran udara yang aktif. Tiada bahagian yang bergerak, jadi tiada turbulensi. Anda boleh menghilangkan bahan-bahan yang digunakan untuk mengawal aliran udara, dan mendapatkan ruang yang lebih luas.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ada beberapa perkara yang perlu diperhatikan. Pemanas inframerah hanya memberikan haba ke arah tertentu sahaja. Jika anda bekerja dengan bentuk 3D yang kompleks, anda perlu memastikan sudut pantulan cahaya dan kedudukan lampu sesuai agar haba dapat disebarkan secara merata.
Oleh kerana pemanas inframerah berfungsi dengan sangat cepat, sistem kawalan perlu berfungsi dengan cepat juga. Jika sistem PID anda terlalu lambat atau tidak efisien, suhu mungkin akan melebihi had yang ditetapkan sebelum anda sedar. Anda memerlukan sensor dan pengawal kuasa yang boleh bertindak dengan cepat.
Ia memerlukan sedikit usaha untuk menyesuaikan tetapan, tetapi kelajuan yang diperoleh sangat berbaloi.