Op de lithografieafdeling zijn de processen ‘soft bake’ en ‘hard bake’ niet zomaar stappen om de fotorezist te fixeren. Ze bepalen juist de vereiste toleranties voor de afmetingen van de componenten. Een verschil van maar 0,3°C op het gewicht kan ervoor zorgen dat de afmetingen niet meer voldoen aan de vereisten, waardoor het hele productietraject mislukt. We hebben daarom een DUV-resistverhittingslamp ontwikkeld, zodat de temperatuur beter onder controle kan worden gehouden.
Wat technisch gezien belangrijk is: De lamp maakt gebruik van near-infrared-verwarming om een evenwichtig thermisch veld te creëren – met een tolerantie van ±0,1°C over het oppervlak van het gewicht. Hierdoor is er nauwkeurigheid tussen verschillende productseries. De uitgangsspanning van de lamp wordt namelijk nauwkeurig geregeld, in plaats van dat dit wordt ingeschat op basis van gegevens van een thermocouple. Dit zorgt er dus voor dat de temperatuur van de fotorezist constant blijft, ongeacht of er sprake is van een testserie of van productie.
De compatibiliteit met schone ruimtes is ook een belangrijk aspect van dit ontwerp. De lamp kan worden gebruikt in omgevingen van klasse 1–100, dankzij materiaal dat weinig gassen afgeeft en een hete zone waarin de concentratie deeltjes minimaal is, zodat er geen vervuiling op het gewicht komt.
Waarom dit werkt in een echte productiefabriek: In een 24/7-productiefabriek wordt ongeplande stilstand gemeten in aantal gemiste productiestappen. Deze lamp zorgt ervoor dat er geen ongeplande stilstand is, zonder dat de efficiëntie wordt beschaad. De snelle thermische respons verkort de verhittingscycli en verlaagt het energieverbruik.
Hierdoor kan er per dag meer gewicht worden geproduceerd, minder producten moeten worden herwerkt, en blijft het lithografieproces stabiel – wat betekent dat er minder afval ontstaat. Er worden geen deeltjes gegenereerd tijdens het verhitten, waardoor de kwaliteit van de producten behouden blijft, vooral op de meest gevoelige niveaus, waar één defect al voldoende is om een apparaat onbruikbaar te maken.
Wat je van tevoren moet weten: De installatie is eenvoudig, maar de lamp heeft speciale stroom- en koelingsapparatuur nodig die past bij zijn thermische vereisten. De lamp kan gemakkelijk worden geïntegreerd in bestaande systemen, maar plan de ruimte en de benodigde leidingen van tevoren goed – anders kan dit leiden tot vertragingen in het productieproces.
Zorg eerst dat alle benodigde apparaten op orde zijn. Dan zal de verhittingsprocedure al bij de eerste testserie optimaal functioneren.