Stop met het toestaan dat kapotte lampen je opbrengst van siliciumwafels bederven
In eenfabriek voor semiconductoren met hoge productiecapaciteit is het een nachtmerriescenario wanneer een infraroodlamp kapotgaat. Wanneer een van deze kwartzbuizen kapotgaat, stoppen de stralen van het licht niet alleen, maar er vallen ook kleine glasdeeltjes en chemische stoffen op de siliciumwafels terecht. Eén kapotte lamp kan al leiden tot vervuiling van een hele partij silicium. Het is een chaos, het is duur, en het kan volledig worden voorkomen.
Waarom gaan ze eigenlijk kapot?
Lampen met hoge vermogens moeten veel stress verdragen. Ze moeten voortdurend omgaan met extreme temperaturen en hoge spanningen. Dit zorgt voor enorm veel druk op het kwarts. Uiteindelijk breekt er iets – de buis barst, het vacuüm verdwijnt en het gloeidraad brandt uit. In een open systeem valt al dat puin rechtstreeks op de werkplek.
Een simpele oplossing: veiligheidsverpakking
We lossen dit op door een fysiek schild tussen de hitte en de siliciumwafels te plaatsen. Onze veiligheidsverpakking bestaat uit een hoogzuiver, hittebestendig materiaal dat om de lamp heen wordt gewikkeld. Het fungeert als een soort ‘behoudscontainer’. Als de lamp kapotgaat, vangt het materiaal het puin op. Zo blijven de siliciumwafels schoon.
We letten ook goed op de materialen die we gebruiken. We kiezen voor materialen die nauwelijks dampen afgeven, zodat er geen vreemde organische verbindingen in de schone ruimte terechtkomen. Het materiaal past goed om de lamp heen, zodat er geen deeltjes naar buiten kunnen komen. Tegelijkertijd geeft het het kwarts nog genoeg ruimte om te expanderen wanneer het wordt opgewarmd.
De balans
Het toevoegen van een veiligheidsverpakking betekent dat er een extra laag materiaal tussen de lamp en de siliciumwafels komt te zitten. Hierdoor neemt de efficiëntie van de infraroodstralen iets af. Het kan wel even langer duren voordat de gewenste temperatuur wordt bereikt. Maar eerlijk gezegd is het beter om even te wachten dan om veel siliciumwafels weg te gooien vanwege één kapotte lamp.
Een paar tips om alles soepel te laten werken:
Zorg ervoor dat de stroomvoorziening is afgestemd op de impedantie van de verpakte lamp. Op deze manier oververhitten de randen van het materiaal niet. Houd bovendien de luchtstroom rondom de lamp in beweging, zodat er geen hitte ophoopt.
Zo simpel is het.