Tijdens het proces gaan de wafers eerst door een zachte bakprocedure, daarna een harde bakprocedure en ten slotte een kuringsproces. Er is geen ruimte voor fouten of afwijkingen. Een temperatuurverschil van 2°C tijdens het bakken van de fotoresist kan ertoe leiden dat er ‘bruggen’ worden gevormd tussen de verschillende onderdelen van de chip. Een koude plek tijdens het drogen kan ertoe leiden dat er deeltjes achterblijven die later tot problemen kunnen leiden. Hier is betrouwbaarheid geen slogan – het gaat om de hoeveelheid producten die per uur verloren gaan.
Wat we technisch gezien belangrijk vinden, is een nauwkeurige temperatuurregeling. We gebruiken heaters die ervoor zorgen dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijk blijft, met een precisie van ±0,1°C. De temperatuur moet ook onder belasting constant blijven. Quartzhalogeenlampen zorgen voor een snelle en nauwkeurige reactie, met minimale uitstoot van gassen. Sensoren houden de temperatuur op het gewenste niveau – niet alleen op het scherm.
De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is vanaf het begin goed doordacht: er worden materialen gebruikt die weinig deeltjes bevatten, de verbindingen zijn afgesloten en de luchtcirculatie zorgt erop dat er geen vervuiling in de kamer komt. We beweren niet dat er geen deeltjes worden geproduceerd. We meten dit en controleren het tegen de processemonitoren.
Waarom dit belangrijk is: tijdens het drogen en schoonmaken van de wafers zorgt de heater ervoor dat de oppervlakken zonder thermische schokken worden gedroogd. Hierdoor ontstaan er minder defecten en is er minder herwerk nodig. Tijdens de lithografieproces zorgt de heater voor een nauwkeurige behandeling van de fotoresist, zodat de CD-kwaliteit en de profielen van de wanden binnen de vereisten blijven. Tijdens het verpakken zorgt de heater voor een gecontroleerde kurings- en insluitingsprocedure, zonder dat de temperatuur te hoog wordt.
Het voordeel is duidelijk: minder afvalproducten, stabiele SPC-grafen en lagere energieverbruikken. Er zijn echter nog enkele punten waar je op moet letten. De heater past zich aan aan standaard OEM-platformen, maar de vlakheid van de chuck en de contactgeometrie moeten overeenkomen met de specificaties. Het instellen van de heater duurt niet lang, maar je moet wel de snelheid van de temperatuurstijging en eventuele overschrijdingen regelen.
Als je in een ruimte met hoge luchtvochtigheid werkt, moet je goed opletten bij het beheer van het condensaat bij de uitlaatopening. Zodra alles goed is ingesteld, kan het systeem 24/7 draaien, met voorspelbare onderhoudskosten voor lampen, sensoren en andere onderdelen – zonder onverwachte stilstand.