Na linii produkcyjnej, płyta krzemowa po oczyszczeniu wodą ma na sobie ślady, warstwa fotooporu nie została odpowiednio wysuszona, a materiał użyty do utwardzania płytki nie utwardza się równomiernie – to wszystko skutkuje wydłużeniem czasu obróbki, a nawet uszkodzeniem samej płytki. Dlatego ogrzewanie podczerwienią musi być precyzyjne: konieczna jest dokładna kontrola temperatury, bez dodawania cząstek lub powstawania naprężeń cieplnych.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Zbudowaliśmy urządzenie do ogrzewania po oczyszczeniu na bazie krótkofalowej podczerwieni oraz układu termicznego opartego na kwarcu. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C. Taka stabilność umożliwia prawidłowe wysuszanie warstwy fotooporu i jej utwardzanie – przy czym dokładność temperatury jest kluczowa dla kontrolowania wymiarów płytki i jej struktury.
System sterowania w zamkniętym obiegu zapewnia dobrą kontrolę temperatury, nawet przy szybkim zmianach parametrów. Urządzenie nadaje się do stosowania w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, a emitory i elementy konstrukcyjne są tak zaprojektowane, by nie wytwarzać żadnych cząstek.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w produkcji
Jedno urządzenie może pełnić kilka funkcji: suszenie płytki po oczyszczeniu, wysuszanie warstwy fotooporu podczas procesu litografii oraz utwardzanie płytki na końcowej fazie produkcji. Dzięki temu uzyskujemy lepszą wydajność, ponieważ urządzenie szybko osiąga pożądaną temperaturę. Ponadto, dzięki stałej temperaturze, liczba defektów jest mniejsza.
Koszt energii również jest niski – układ podczerwieni jest efektywny, a masa cieplna urządzenia jest niska. Niezawodność urządzenia jest gwarantowana dzięki ciągłej pracy przez 24/7, więc nie występują przerwy w produkcji ani konieczność trzymania zapasów.
Co należy uwzględnić przy planowaniu
Instalacja polega na dostosowaniu rozmiarów urządzenia do specyfikacji maszyny, a także na prawidłowym podłączeniu przewodów gazowych i wentylacyjnych. Należy też upewnić się, że interfejs PLC jest prawidłowo skonfigurowany. Planujcie krótki okres testowy, aby dostosować parametry urządzenia do specyfiki używanych materiałów.
Urządzenie najlepiej sprawdza się przy standardowych rozmiarach płytek i płaskich pakietach. Jeśli pracujecie z krzywymi lub nietypowymi podłożami, prawdopodobnie będziecie potrzebować specjalnego urządzenia, aby utrzymać jednolitość temperatury.