
Przestań tracić czas na czekanie, aż temperatura w pomieszczeniu o czystym powietrzu się podniesie. Jeśli zajmujesz się procesowaniem półprzewodników, doskonale znasz to irytujące oczekiwanie. Wiecie dokładnie, co mam na myśli – ten żałosny czas zwłoki w cyklu termicznym, gdy po prostu czekasz. Większość urządzeń wykorzystuje cyrkulację powietrza. To powolny proces: najpierw nagrzewa się powietrze, które następnie ogrzewa komorę. Dopiero wtedy płyta krzemowa otrzymuje ciepło. To reakcja łańcuchowa, która marnuje czas. Szybsze rozwiązanie? Promieniowanie podczerwone. Grzałki podczerwone eliminują konieczność korzystania z powietrza jako nośnika ciepła. Zamiast tego wysyłają promieniowanie elektromagnetyczne bezpośrednio do celu. To niesamowite uczucie, gdy po raz pierwszy to zobaczysz – nie musisz czekać, aż wentylatory ustabilizują temperaturę w pomieszczeniu; temperatura osiąga pożądany poziom już po kilku sekundach. Dzięki temu możesz skrócić czas procesu i przetwarzać większą liczbę partii produktów. Poza tym, powiedzmy coś o bałaganie… Cyrkulacja powietrza jest koszmarem w pomieszczeniu o czystym powietrzu – wentylatory wzbudzają kurz i inne cząsteczki. Nawet przy użyciu najlepszych filtrów HEPA, ruchome powietrze stanowi zagrożenie dla płytek krzemowych. Grzałki podczerwone nie wymagają żadnych ruchomych elementów – nie ma turbulencji. Można więc usunąć skomplikowane elementy sterujące przepływem powietrza i uzyskać więcej miejsca na podłodze. Ale pamiętaj – to nie jest czarodziejska różdżka. Istnieją kilka rzeczy, na które należy uważać. Promieniowanie podczerwone ma określoną kierunkowość. Jeśli pracujesz z złożonymi 3D-kształtami, nie można po prostu „ustawić wszystko i zapomnieć”. Będziesz musiał uwzględnić efekt cienia – w głębokich zakamarkach temperatura pozostanie niska, natomiast na powierzchni temperatura będzie wysoka. Musisz dokładnie planować kąty reflektorów oraz umieszczenie lamp, aby temperatura była równomierna. A ponieważ promieniowanie podczerwone działa tak szybko, system sterowania musi nadążać za tym tempem. Jeśli Twój układ PID jest zbyt wolny lub ma zbyt dużą wartość, temperatura może przekroczyć pożądany poziom, zanim zdążysz to zauważyć. Potrzebujesz szybkich czujników i kontrolerów mocy, które mogą reagować tak szybko jak sama temperatura. To wymaga trochę więcej precyzji na początku, ale szybkość, jaką uzyskasz w zamian, jest tego warta.