Na hali produkcyjnej praca 7×24 nie wybacza dryfu. Jeden przerywany impuls lampy i miękki wypiek zaczyna dryfować. Jednolitość CD ulega pogorszeniu. Wkrótce cała partia może zostać poddana kwarantannie. Zaprojektowaliśmy tę lampę RTP, aby wyeliminować to ryzyko.
Co ma znaczenie technicznie:
Urządzenie wykorzystuje lampy halogenowe krótkofalowe w szczelnej kwarcowej komorze, dostarczając ciepło tam, gdzie jest potrzebne — szybko, kierunkowo i pod ścisłą kontrolą spektralną. W całym oknie procesu jednorodność temperatury na poziomie wafla utrzymuje się na poziomie ±0,1°C, dzięki czemu profile miękkiego i twardego wypieku pozostają powtarzalne, partia po partii. Urządzenie jest przystosowane do pracy w klasie czystości od 1 do 100 i potwierdziliśmy zerową emisję cząstek dokładnie w punkcie użytkowania. Pod obciążeniem produkcyjnym system termiczny utrzymuje stabilność wartości zadanej, dzięki czemu budżet cieplny pozostaje równy przez cały proces wzorcowania i wypieku.
Dlaczego sprawdza się w litografii:
W liniach litograficznych ta lampa utrzymuje obróbkę fotoopornika w specyfikacji: kontroluje przepływ opornika, usuwanie rozpuszczalnika oraz sieciowanie — z taką samą powtarzalnością, zmiana po zmianie. Cel niezawodności to zero nieplanowanych przestojów, potwierdzony żywotnością przekraczającą 5 000 godzin przy minimalnym spadku wydajności. Mniej przerw. Mniej partii do poprawki. Stabilny yield. Zużycie energii jest zoptymalizowane bez rezygnacji z prędkości narastania mocy, dzięki czemu czas cyklu pozostaje krótki, a koszty mediów maleją.
Na co trzeba zwrócić uwagę przy planowaniu:
Instalacja wymaga dopasowania lampy do konkretnego wymiaru komory RTP oraz interfejsu złącza. Nieprawidłowe zakończenia lub geometria reflektora wpłyną na jednorodność. Należy przewidzieć krótki rozruch uruchomieniowy w celu ustalenia emisyjności i offsetów pirometrycznych dla konkretnego przepisu. Po wyregulowaniu lampa pracuje zgodnie z założeniami — trzeba jedynie zaplanować wymiany, aby utrzymać kontrolę nad poziomem cząstek w cleanroomie.