Redução da emissão de carbono e ozônio no aquecimento de semicondutores
Se você já passou algum tempo em uma sala limpa, sabe bem das dificuldades que existem. É preciso ter uma precisão térmica extrema, mas as ferramentas utilizadas muitas vezes causam problemas adicionais.
As lâmpadas infravermelhas de onda curta convencionais têm a tendência de emitir ondas com comprimento de onda inferior a 200 nm. O problema é que essas ondas atingem o oxigênio e geram ozônio. Em um ambiente estéril, o ozônio é considerado um problema grave: ele deteriora as ferramentas e faz com que os sistemas de ventilação trabalhem mais do que o necessário para purificar o ar.
Nós encontramos uma solução para isso: usamos tubos de quartzo livres de ozônio.
Como funciona na prática
É uma questão de física simples. Usamos quartzo dopado ou revestimentos especiais para bloquear esse espectro de radiação ultravioleta. Ao bloquear essas ondas específicas, evitamos a formação de ozônio desde o início.
A melhor parte é que não é mais necessário depender daqueles sistemas complexos e consumidores de energia para remover o ozônio. A carga energética da sua fábrica diminui, e seus equipamentos duram mais tempo.
Vencendo a batalha pela “Fábrica Verde”
Alcançar a neutralidade carbônica não depende apenas de onde você obtém a energia. Depende também de como você a utiliza.
Os fornos convencionais funcionam como se estivéssemos aquecendo toda a casa só para manter uma xícara de café quente – ou seja, aquecemos todo o volume do forno. Já o infravermelho é diferente: é uma transferência direta de calor. Ele aquece apenas o wafer ou substrato, ignorando o resto.
Mas o maior benefício é o tempo de inatividade do forno. As lâmpadas infravermelhas esquentam em segundos. Você não precisa gastar energia desnecessariamente para manter o forno quente enquanto troca as ferramentas. É rápido, eficiente e economiza muito na conta de luz.
Coisas que precisam ser levadas em consideração
Claro, não se trata de um “botão mágico”. Existem algumas coisas que precisam ser levadas em conta.
Quando bloqueamos a faixa de radiação ultravioleta, a distribuição espectral muda um pouco. Dependendo do material com o qual você trabalha, a taxa de absorção pode mudar ligeiramente. É importante verificar novamente os tempos de aquecimento para garantir que o perfil térmico esteja dentro dos limites desejados.
Além disso, se você usar lâmpadas de alta potência, fique atento às fontes de alimentação. Esses tubos podem ser sensíveis às flutuações de tensão. Se a qualidade da energia for ruim, os filamentos se desgastarão muito rapidamente.
O truque é ajustar a impedância da lâmpada exatamente para corresponder ao controlador. Assim, seu sistema funcionará sem problemas por muito tempo.