Como secar semicondutores da maneira correta (sem desperdiçar energia)
Quando se trabalha com wafers, é necessário eliminar toda a umidade deles – e isso precisa ser feito rapidamente. Mas, se for feito de maneira excessivamente agressiva, há risco de danificar o wafer. Por muito tempo, as pessoas utilizaram sistemas de convecção convencionais, mas agora optamos por controladores digitais a infravermelho. Por quê? Porque os métodos antigos desperdiçam muita energia e demoram bastante para aquecer o wafer. A mudança para esses controladores digitais representa um caminho mais eficiente e sustentável para a limpeza dos wafers.
Como funcionam realmente os controladores digitais
As lâmpadas a infravermelho convencionais simplesmente emitem calor. Elas não se importam se o wafer já está seco ou ainda úmido; elas continuam emitindo energia sem parar. Nós resolvemos esse problema usando controladores digitais que “ouvem” o que acontece em tempo real. Com o uso de tecnologias como PWM ou controle de ângulo de fase, é possível manter a temperatura dentro de uma faixa muito estreita. Assim, não há mais necessidade de se preocupar com superação do ponto de ajuste, o que poderia danificar o material.
Mas há um problema: esses controladores de alta potência geram muito calor. Se a ventilação do equipamento não for adequada, os componentes eletrônicos podem ser danificados durante o funcionamento contínuo. Não negligencie a ventilação.
Economizando energia (e o planeta)
Se você quer alcançar metas de neutralidade de carbono em sua fábrica, tudo depende de quantos quilowatts-hora são consumidos por wafer. Os controladores digitais permitem o uso de “modos de dormência”. Em vez de manter as lâmpadas ligadas 100% do tempo, o sistema reduz o consumo de energia. É uma mudança simples, mas que faz diferença. Além disso, o infravermelho é mais eficiente do que o aquecimento resistivo. Ele penetra na superfície do wafer e o seca por dentro. Tudo acontece mais rapidamente. E, como o ciclo é mais curto, o equipamento gasta menos energia. É uma solução vantajosa para todos.
Implementação prática
Integrar esses controladores em linhas de produção existentes nem sempre é tão simples quanto parecer. É preciso avaliar primeiro a infraestrutura elétrica da fábrica. Se você estiver inserindo um Controlador de alta potência, certifique-se de que seus disjuntores possam suportar o aumento repentino de corrente.
E um conselho importante: use cabos blindados. Você não quer que interferências eletromagnéticas afetem seus sensores de medição. Não há nada pior do que pensar que seu wafer não está dentro das especificações, quando na verdade é apenas ruído elétrico nos cabos.