Как сохранить чистоту пластин с MEMS во время процесса сушки
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, какая это проблема: одна-единственная крошечная пылинка или случайный выброс химических паров могут сделать всю партию продукции бесполезной.
Проблема в том, что большинство нагревательных элементов на самом деле довольно грязные. Когда они нагреваются, они выделяют микроскопические частицы или летучие органические соединения, которые попадают на поверхность пластин. Это настоящая катастрофа.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не вызывают подобных проблем.
Почему мы используем чистый кварц
Мы используем спектый кремний, потому что он очень прочный. Обычное стекло или дешевый кварц разрушаются при нагревании. А этот материал так не делает.
Самое лучшее в том, что инфракрасное излучение проходит сквозь жидкостную пленку на поверхности пластины. Это позволяет быстро испарять влагу. Поскольку ничто не касается поверхности пластины, нет риска появления царапин или загрязнений.
Как достичь правильной температуры
Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение. Оно мгновенно воздействует на поверхность пластины. Это очень важно, ведь если раствор будет испаряться слишком медленно, на поверхности пластины появятся пятна от воды.
Мы тратим много времени на настройку мощности и напряжения, чтобы тепло равномерно распределялось по всей поверхности пластины. Совет: если вы увеличиваете мощность для ускорения процесса, убедитесь, что крепление пластины может выдержать такую температуру. В противном случае пластина может деформироваться.
Как сделать всё эффективным
Мы стараемся сделать конструкцию максимально простой. Нет лишних элементов, которые могут служить источниками пыли. Количество соединений минимально, что снижает риск их повреждения. Мы также используем специальные уплотнители, чтобы частицы не попадали из электрических контактов в зону нагрева.
Ещё один совет: эти лампы очень горячие. Рекомендуется использовать специальную систему охлаждения для их концов. Это предотвращает повреждение ламп во время длительной работы.