Сокращение выбросов углерода и озона при нагреве полупроводников
Если вы когда-либо находились в чистом зале, вы понимаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Требуется высочайшая точность контроля температуры, но используемые инструменты часто создают свои собственные проблемы.
Стандартные лампы длинноволнового инфракрасного излучения имеют склонность к излучению света с длиной волны менее 200 нм. Проблема в том, что такие волны воздействуют на кислород, в результате чего образуется озон. В стерильной среде озон представляет серьезную угрозу: он разрушает инструменты и заставляет системы вентиляции работать более долго для очистки воздуха.
Мы нашли способ избежать этой проблемы. Мы используем кварцевые трубки, не выделяющие озон.
Как это работает
Это довольно простая физика: мы используем допированный кварц или специальные покрытия для блокировки излучения в ультрафиолетовом диапазоне. Благодаря этому озон не может образовываться.
Самое лучшее — это то, что больше нет необходимости использовать мощные системы для удаления озона. Это снижает энергопотребление завода, а также продлевает срок службы оборудования.
Победа в борьбе за «зеленый завод»
Достижение углеродной нейтральности зависит не только от того, где вы покупаете электроэнергию, но и от того, как вы ею пользуетесь.
Традиционные конвекционные печи требуют огромных затрат энергии для поддержания температуры. Инфракрасное излучение работает по-другому: оно направлено непосредственно на поверхность кристалла, игнорируя остальную часть помещения.
Но самое важное — это время, необходимое для нагрева. Лампы инфракрасного излучения нагреваются за считанные секунды. Не нужно тратить много энергии на поддержание высокой температуры печи во время замены инструментов. Это быстро, эффективно и экономит деньги.
На что стоит обратить внимание
Это не волшебный решение. Есть несколько моментов, на которые нужно обратить внимание.
Когда вы блокируете излучение в ультрафиолетовом диапазоне, спектральное распределение излучения меняется. В зависимости от материала, с которым вы работаете, коэффициент поглощения может изменяться. Вам потребуется перепроверить времена нагрева, чтобы убедиться, что температурный профиль остается на нужном уровне.
Кроме того, если вы используете лампы с высокой мощностью, следите за качеством питания. Эти лампы могут быть чувствительны к колебаниям напряжения. Если качество электроэнергии плохое, нить в лампе может сгореть слишком быстро.
Секрет заключается в том, чтобы точно совпустить импеданс лампы с параметрами контроллера. Тогда ваша система будет работать стабильно в течение долгого времени.