На производственной линии наличие следов от воды на пластинах после очистки, неправильное затвердевание фотолитографического слоя или неравномерное затвердевание защитного слоя приводят не только к увеличению времени обработки, но и к повреждению самих пластин. Поэтому инфракрасное нагревание должно быть предсказуемым: необходим строгий контроль температуры, без появления частиц и избыточных тепловых нагрузок на пластины.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы разработали инфракрасные нагреватели, работающие в диапазоне коротких волн ИК, с использованием кварца в качестве материала для изготовления элементов нагрева. Это позволяет достичь однородности температуры на уровне пластин в пределах ±0,1°C. Такая стабильность температуры необходима для правильной обработки фотолитографического слоя.
Цикловой контроль обеспечивает стабильность температуры, даже при быстром изменении параметров нагрева. Оборудование подходит для чистых комнат класса 1–100; эмиттеры и другие компоненты разработаны таким образом, чтобы не создавать частиц.
Почему это работает на производстве
Один нагреватель может выполнять несколько функций: сушку пластин после очистки, обработку фотолитографического слоя в процессе литографии и затвердевание защитного слоя на последующих этапах производства. Благодаря быстрому достижению заданной температуры увеличивается производительность, а также снижается количество дефектов в готовой продукции.
Также снижается потребление энергии — инфракрасное излучение является эффективным способом нагрева, а тепловая масса остается низкой. Надежность оборудования обеспечивается благодаря его постоянной работе 24/7 с минимальными отклонениями температуры, что снижает риск неплановых простоев и необходимость в запасных частях.
Что необходимо учитывать при планировании
При установке необходимо учитывать размеры оборудования, а также необходимость подключения газовых и вентиляционных систем. Также важно убедиться, что интерфейсы с ПЛК работают корректно. Необходимо также провести тестирование для настройки параметров нагрева в соответствии с требованиями к материалам и подложкам.
Это оборудование наилучше работает с стандартными размерами пластин и плоскими упаковками. Если используются изогнутые или нестандартные подложки, возможно, потребуется использование специальных приспособлений для обеспечения однородности температуры.