Перестаньте тратить время в ожидании, пока в чистой комнате создастся необходимая температура. Если вы занимаетесь глубокой обработкой полупроводников, то наверняка знаете, как это раздражает – когда приходится просто ждать. Вы прекрасно понимаете, что я имею в виду: это неприятная пауза в процессе нагрева, когда приходится просто ждать.
В большинстве установок используется циркуляция воздуха. Этот процесс медленный: сначала нагревается воздух, затем он нагревает помещение, и только потом пластины начинают нагреваться. Это своего рода цепная реакция, которая отнимает много времени.
Как сократить время ожидания? С использованием инфракрасных нагревателей.
Инфракрасные нагреватели обходят этот промежуточный этап. Вместо того чтобы работать с воздухом, они направляют электромагнитное излучение прямо на объект нагрева.
Это потрясающее ощущение, когда вы впервые используете такой нагреватель. Вам не нужно ждать, пока вентиляторы стабилизируют температуру в помещении; достаточно всего нескольких секунд, чтобы достичь нужной температуры. Это позволяет ускорить процесс обработки и обрабатывать больше партий продукции за один раз.
К тому же, стоит упомянуть и проблему загрязнения. Циркуляция воздуха – это настоящий кошмар для чистых комнат. Вентиляторы поднимают пыль и другие частицы в воздух. Даже с самыми современными фильтрами типа HEPA движущийся воздух все равно представляет опасность для полупроводниковых пластин. Инфракрасные нагреватели не имеют движущихся элементов, поэтому нет турбулентности. Можно отказаться от сложных конструкций для регулировки потока воздуха и освободить дополнительное пространство.
Но это не волшебная палочка. Есть несколько моментов, на которые нужно обратить внимание. Инфракрасное излучение имеет направленность. Если вы работаете с сложными трехмерными формами, нельзя просто «настроить все и забыть». Необходимо учитывать угол расположения отражателей и ламп, чтобы тепло распределялось равномерно.
Кроме того, поскольку инфракрасное излучение действует очень быстро, система контроля должна быть такой же быстрой. Если система контроля слишком медленная или неэффективная, температура может превысить заданный уровень еще до того, как вы это заметите. Понадобятся высокоскоростные датчики и контроллеры, способные реагировать так же быстро, как и само излучение.
Это требует дополнительных усилий на начальном этапе, но скорость, которую можно получить в результате, того стоит.