วิธีการทำให้ชิปเซมิคอนดักเตอร์แห้งอย่างมีประสิทธิภาพ (โดยไม่สิ้นเปลืองพลังงาน) เมื่อคุณทำงานกับแผ่นชิป คุณจำเป็นต้องกำจัดความชื้นออกให้หมด...

On the lithography floor, that wet FOUP coming back from the sink is a problem you can feel before you see it. Residual moisture drives soft bake...