Zeminde bulunan Aixtron MOCVD odalarında, epitaksiy sürecinin istenen standartlarda gerçekleşmesi için sağlam bir sıcaklık kontrolü gereklidir. Eğer ısıtıcı elemanın çalışması bozulursa, üretim süreçlerinde tekrarlanabilirlik ortadan kalkar. Ayrıca, ayar değerlerinde değişiklikler meydana gelir, waferlerin sıcaklıkları düzensiz hale gelir ve kusur sayısı artar. Bu durumu düzeltmek için bekleyemezsiniz.
Asıl Önemli Olan Nedir? Biz, odanın termal özelliklerine uygun olan Aixtron ısıtıcı elemanları üretiyoruz. Geometri, susceptor bölgesine uygun şekilde seçilir ve zamanla stabil kalabilecek bir malzeme kullanılır. Böylece, fırınlama işlemi sırasında waferlerin sıcaklığı ±0,1°C hassasiyetinde kontrol edilebilir; böylece fotoresistlerin işlenmesi her seferinde tutarlı olur.
Bu cihazlar, Temiz Oda Sınıfı 1–100 standardına uygundur ve hiçbir parçacık üretmez; bu sayede parçacık sayısı değişiklikler sırasında sabit kalır. 24/7 çalışma için tasarlanmıştır ve değiştirme aralıkları oldukça uzundur.
Litografide Neden Önemli? Litografi ve bununla ilişkili termal işlemlerde sıcaklık hassasiyeti, hat genişliğinin kontrolünde ve kusurların önlenmesinde önemli bir rol oynar. Doğru Aixtron ısıtıcı elemanı, orijinal termal düzeni yeniden sağlar; böylece işlem parametrelerini tekrar tekrar ayarlamak zorunda kalmazsınız.
Böylece iş durma süreleri azalır, üretim kapasitesi korunur ve enerji tüketimi de istenilen seviyede kalır. Tekrarlanabilirlik artar ve atık miktarı azalır.
Sorunlardan Kaçınmak İçin Gerekli Detaylar Montaj sırasında ESD kurallarına uyulmalı ve montaj donanımlarına doğru tork uygulanmalıdır. Aksi takdirde mikro boşluklar oluşur ve sıcaklık dağılımı bozulur. Bağlantı tipi, voltaj ve boyutlar mutlaka oda versiyonuna göre kontrol edilmelidir; uyuşmayan arayüzler termal bağlantıyı bozar.
Periyodik bakım sırasında önleyici değiştirme işlemleri planlanmalıdır. Böylece termal şoklardan kaçınılır ve oda kaplamaları korunmuş olur.