Role
Üretim katında, soft bake ve hard bake süreçleri sapmalara tolerans göstermez. Wafer üzerinde 2°C’lik bir sıcak nokta, tüm seriyi hurda çıkartacak çizgi genişliği sapmalarına yol açabilir. Bu belirsizliği termal bütçeden çıkarmak için fab IR lambaları için kuvars kılıfı tasarladık.
Kaputun altında önemli olan Kılıf için yüksek saflıkta kuvars tercih ediyoruz çünkü kısa ve orta dalga IR bandında stabil iletimi korur ve termal genleşme profili hızlı termal döngü sırasında geometrinin sabit kalmasını sağlar. Bu sayede bake yüzeyi boyunca ±0.1°C içinde wafer seviyesinde homojenlik elde edilir; böylece fotoresist profilleri partiden partiye tutarlı olur. Sınıf 1–100 temiz oda uyumludur ve geometri, laminar radyant ısıtma için partikül oluşumunu sıfıra indirir—gaz çıkışı, pul pul dökülme ya da kontaminasyon olmaz.
Üretimde neden dayanır Litografi hatlarında ve kür modüllerinde, kılıf sıcaklığı daha hızlı stabilize eder ve set noktayı daha uzun süre korur. Bu da film kalitesinden ödün vermeden bake süresini kısaltmanıza, ısınma süresini azaltmanıza ve enerji tüketimini düşürmenize olanak sağlar. Performans 5.000+ saat boyunca sabit kalır, %5’ten az yoğunluk kaybı olur; böylece parça değişimi için bakım aralıkları azalır ve wafer üretimi için daha fazla zaman kalır. Proses pencereleri daralır ve aksi takdirde yeniden işleme zorlayacak sapmalar ortaya çıkmaz.
Kurulumda doğru yapılması gerekenler Hizalama lamba odak eksenine kesinlikle tam uyumlu olmalıdır. Birkaç derece sapma bile kritik boyutlarda asimetrik ısıtma ve sapmaya neden olur. Lamba ile konnektör tipi, wattaj ve kılıf uzunluğunu eşleştirin. Kılıf dayanıklıdır ancak kuvars mekanik darbeye karşı hassastır—ellerle değil uygun aparatlarla taşıyın. Hizalandığında ve eşleştiğinde, vardiya sonrası vardiya güvenilir bir termal eleman gibi davranır.