Temiz odanın ısınmasını bekleyerek zaman kaybetmeyi bırakın.
Eğer yarı iletkenler üzerinde derinlemesine işlemler yapıyorsanız, “boşa harcanan zaman” sorununu çok iyi biliyorsunuzdur. Ne demek istediğimi tam olarak anlıyorsunuz; termal döngü sırasında sadece beklemek zorunda kalıyorsunuz.
Çoğu sistemde zorlanarak hava akışı sağlanır. Bu oldukça yavaş bir süreçtir. Hava ısıtılır, bu hava da odayı ısıtır ve sonunda wafer de ısınır. Bu, zaman kaybına neden olan bir süreçtir.
Kısa yol nedir? Kızılötesi ısıtıcılar.
Kızılötesi ısıtıcılar aracıları ortadan kaldırır. Hava ile uğraşmak yerine, elektromanyetik radyasyonu doğrudan hedefe gönderirler.
İlk kez bunu gördüğünüzde inanılmaz bir his olur. Odanın ısınmasını beklemenize gerek kalmaz; belirlenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşılır. Bu sayede işlem sürelerini kısaltabilir ve daha fazla ürünü işleyebilirsiniz.
Ayrıca, temiz odalarda zorlanarak hava akışının getirdiği sorunlardan da bahsedelim. Zorlanarak hava akışı tozu ve partikülleri havaya kaldırır. En iyi HEPA filtreleri olsa bile, hareketli hava, silikon waferler için risk oluşturur. Kızılötesi ısıtıcılar ise statiktir; hareketli parça yoktur, türbülans da olmaz. Böylece karmaşık hava akış düzeneklerinden kurtulup daha fazla alan kazanabilirsiniz.
Ancak unutmayın ki bu bir sihirli değnek değildir. Dikkat edilmesi gereken bazı noktalar vardır.
Kızılötesi ısıtıcıların yönü vardır. Eğer karmaşık 3D şekillerle çalışıyorsanız, “ayarlayıp unutmak” mümkün değildir. Derin bölgeler soğuk kalırken yüzeyler ısınır. Isının eşit dağılması için reflektör açılarını ve lambaların yerleştirileceği yerleri dikkatlice seçmelisiniz.
Ayrıca kızılötesi ısıtıcılar çok hızlı olduğundan, kontrol sisteminizin de buna ayak uydurabilmesi gerekir. Eğer PID döngüsü yeterince hızlı değilse, farkına varmadan sıcaklık kontrolünü kaybedebilirsiniz. Bu yüzden yüksek hızlı sensörler ve hızlı tepki verebilen güç kontrol cihazlarına ihtiyaç vardır.
Başlangıçta biraz daha hassas ayarlamalar gerekebilir, ancak elde edilen hız kesinlikle buna değerdir.