Як покласти край кошмару забруднення ваферів
Будьмо чесними: коли лампа ІЧ-опромінювання зламується під час роботи на повну потужність, це справжня катастрофа. Йдеться не лише про перерву у роботі, а й про безлад, який виникає в результаті цього. У результаті уламки скла та вольфрамові нитки потрапляють прямо на вафери. Внаслідок цього весь вироблений продукт стає непридатним для використання, і доводиться проводити складну процедуру очищення всієї камери. Це справжня проблема, якої ніхто не хоче.
Це ще не все…
Саме тому ми не розглядаємо наші алюмінієві відбивачі як просто засоби для направлення теплового випромінювання. Звісно, вони допомагають направляти ІЧ-випромінювання на вафери, щоб підтримувати ефективність процесу, але вони також є першою лінією захисту. Ми використовуємо алюміній високої чистоти з спеціальним анодованим покриттям. Чому? Тому що останнє, що потрібно, – це щоб сам відбивач почав відшаровуватися чи виділяти гази під час нагрівання та охолодження.
Ми також стежимо за правильною геометрією конструкції. Зменшуючи відстань між лампою та стінкою відбивача, ми фактично „ув’язнюємо“ уламки всередині конструкції. Якщо лампа зламується, уламки не мають можливості потрапити на вафери.
Баланс між потужністю та безпекою
Використання ламп на максимальній потужності є корисним для виробництва, але це також може призводити до термічних стресів. Щоб одна зламана лампа не знищила весь вироблений продукт, ми використовуємо захисні елементи. Це своєрідна „мертва мережа“, яка захищає вафери від уламків. Алюмінієвий відбивач тримає всю конструкцію разом, забезпечуючи ідеальне розташування лампи. Це допомагає уникнути нерівномірного розподілу тепла, що часто є причиною передчасного зламу ламп.
Компроміс
Є один недолік: додавання захисних елементів та більш міцних відбивачів збільшує вагу конструкції. Через це час нарощування потужності буде трохи більшим, ніж при використанні звичайної лампи. Це незначна затримка, але це невелика ціна за уникнення катастрофи у вигляді забруднених ваферів.
Порада: потрібно налаштувати контролери PID так, щоб врахувати цей додатковий тепловий масив. Після цього температурний профіль буде залишатися на потрібному рівні.