Як зберегти пластини MEMS бездоганно чистими під час сушіння
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте про цей кошмар: одна-єдина крихітка пилу чи якийсь хімічний пар може зробити всю партію продукції непридатною для використання.
Проблема в тому, що більшість нагрівальних елементів насправді досить брудні. Коли вони нагріваються, вони починають виділяти мікроскопічні частинки чи леткі органічні сполуки, які потрапляють на поверхню пластини. Це справжня катастрофа.
Саме тому ми використовуємо лампи інфрачервоного випромінювання з високою чистотою синтетичного кварцу. Вони не спричиняють таких проблем.
Чому ми використовуємо чистий кварц
Ми використовуємо спечений кремнезем, тому що він є дуже міцним. Звичайне скло чи дешевий кварц починають руйнуватися при підвищених температурах. А цей матеріал – ні.
Найкраще те, що інфрачервоне випромінювання проходить прямо крізь рідинну плівку на поверхні пластини. Це швидко виводить вологу, а оскільки ніщо не торкається поверхні пластини, не потрібно турбуватися про подряпини чи бруд на її поверхні.
Як досягти правильної температури
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання. Воно миттєво потрапляє на поверхню пластини. Це дуже швидко. І це важливо, адже якщо розчин буде випаровуватися занадто повільно, на поверхні пластини з’являться сліди води.
Ми витрачаємо багато часу на налаштування потужності та напруги, щоб температура була однаковою по всій поверхні пластини. Увага: якщо ви збільшуєте потужність для прискорення процесу, переконайтеся, що кріплення пластини може витримати таку температуру. Інакше пластина може деформуватися.
Як все це об’єднати
Ми створюємо просту конструкцію. Немає великих корпусів, які можуть стати джерелом пилу. Кількість контактів мінімальна, тож менше шансів на пошкодження. Ми також використовуємо спеціальні ущільнювачі, щоб жодні частинки не потрапляли з електричних контактів у зону нагріву.
Остання порада: ці лампи сильно нагріваються. Рекомендуємо використовувати окрему систему охолодження для кінців ламп. Це допоможе уникнути пошкоджень під час тривалої роботи ламп.