На заводі з виробництва чіпів, якщо пластинка після очищення має сліди води, якщо шар фоточутливого матеріалу не просушений належним чином, або якщо матеріал для упаковки не затвердів рівномірно, це не лише ускладнює процес виробництва, але й може пошкодити саму пластинку. Саме тому інфрачервоне нагрівання мусить бути точним: необхідний суворий контроль температури, без додавання частинок чи пошкодження пластинки через тепловий стрес.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили інфрачервоний нагрівач, який використовується після очищення, на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварцових елементів. Це дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C. Така стабільність температури дозволяє ефективно просушувати фоточутливий матеріал та затверджувати матеріал для упаковки. Точність температури є ключовою для контролю розмірів чіпів та їхньої форми.
Контроль у закритому циклі допомагає підтримувати стабільну температуру, навіть при швидкому зміні температури. Обладнання підходить для чистих приміщень класу 1–100, а емітери та інші елементи конструкції розроблені так, щоб не створювати жодних частинок.
Чому це ефективно в промисловому виробництві
Один нагрівач може виконувати кілька функцій: сушка пластинки після очищення, просушування фоточутливого матеріалу під час літографії та затвердження матеріалу для упаковки. Це дозволяє підвищити продуктивність, оскільки нагрівач швидко досягає потрібної температури. Також це сприяє зменшенню кількості дефектів у готових продуктах.
Використання енергії також зменшується – інфрачервоне випромінювання є ефективним, а теплова маса залишається низькою. Надійність обладнання забезпечується завдяки безперервній роботі протягом 24/7 з мінімальними відхиленнями, що дозволяє уникнути непланованих перерв у роботі та зайвих витрат на запаси.
Що потрібно врахувати під час планування
Під час встановлення необхідно врахувати розміри обладнання, а також необхідність підключення газу та відведення відпрацьованих газів. Також потрібно переконатися, що інтерфейси PLC правильно підключені. Необхідно також провести коротку перевірку для налаштування параметрів нагрівання.
Цей нагрівач найкраще працює зі стандартними розмірами пластинок та плоскими корпусами чіпів. Якщо використовуються криволінійні чи нетипові корпуси, може знадобитися спеціальне обладнання для забезпечення однорідності температури.