На виробничому майданчику soft bake і hard bake не терплять відхилень. Гаряча точка на 2°C по всій пластині може викликати коливання ширини лінії, що призведе до браку всієї партії. Ми розробили кварцову оболонку для IR-ламп фабрики, щоб усунути цю невизначеність у тепловому балансі.
Що має значення під капотом
Ми використовуємо кварц високої чистоти для оболонки, оскільки він забезпечує стабільну пропускну здатність у коротко- та середньохвильовому ІЧ-діапазоні, а його профіль теплового розширення зберігає геометрію незмінною під час швидких теплових циклів. Це дає однорідність на рівні пластини з точністю ±0.1°C по всій поверхні випікання, що забезпечує повторюваність профілів фоторезисту з партії в партію. Матеріал сумісний із чистими приміщеннями класу 1–100, а геометрія розроблена для ламінарного випромінювального нагріву без генерації частинок — без виділення газів, без розшарування, без забруднень.
Чому він витримує виробниче навантаження
У літографічних треках та модулях полімеризації оболонка швидше стабілізує температуру і довше утримує задану точку. Це дозволяє скоротити час випікання без погіршення якості плівки, зменшити час розігріву та знизити енергоспоживання. Продуктивність залишається стабільною понад 5 000 годин з втратою інтенсивності менш ніж 5%, що знижує кількість технічних простоїв на заміну деталей і збільшує час роботи з пластинами. Технологічні вікна звужуються, а відхилення, які інакше призвели б до переробки, не виникають.
Що потрібно врахувати при встановленні
Вирівнювання має бути точно по осі фокуса лампи. Навіть кілька градусів зсуву спричиняють асиметричний нагрів і відхилення критичних розмірів. Підбирайте лампу за типом роз’єму, потужністю і довжиною колби. Оболонка міцна, але кварц не терпить механічних ударів — працюйте з інструментом, не руками. Коли вона правильно вирівняна і підібрана, оболонка поводиться як передбачуваний тепловий елемент, на який можна покладатися зміну за зміною.