فیکٹری میں، ایسے ویفر جو پانی سے صاف کرنے کے بعد بھی نشانات لیے ہوئے رہتے ہیں، یا ایسے فوٹوریزسٹ کمپوزٹ جو مناسب طریقے سے خشک نہیں ہوتے، یا ایسے انکیپسولنٹ جو یکساں طور پر خشک نہیں ہوتے، ان کی وجہ سے پروڈکشن کا عمل متأثر ہوتا ہے۔ اسی لیے انفراریڈ حرارت کا استعمال قابل پیشن گوئی ہونا ضروری ہے؛ یعنی درجہ حرارت کو مضبوطی سے کنٹرول کرنا ضروری ہے، تاکہ ویفرز کو نقصان نہ پہنچے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نے کلیننگ کے بعد استعمال ہونے والے انفراریڈ ہیٹر کو شارٹ-ویو NIR اور کوارٹز-بیسڈ تھرمل ڈیزائن کے ساتھ بنایا ہے، تاکہ ویفرز کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہے۔ اس طرح فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے خشک کیا جاسکتا ہے، اور درجہ حرارت کی درستگی سے کرنل ڈائمنشنز اور سائیڈ والز کا کنٹرول بھی بہتر رہتا ہے۔
کلوزڈ-لوپ کنٹرول کی وجہ سے، تیز رفتاری سے کام کرنے کے باوجود بھی درجہ حرارت کو کنٹرول میں رکھا جاسکتا ہے۔ یہ ہارڈویئر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال کیا جاسکتا ہے، اور اس کے ایمیٹرز اور فکسچرز ایسے ہیں کہ ان سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔
پروڈکشن میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
ایک ہی ہیٹر کئی مراحل کو سنبھال سکتا ہے: کلیننگ کے بعد ویفرز کو خشک کرنا، لیتھوگرافی میں فوٹوریزسٹ کو خشک کرنا، اور بیک-اینڈ میں پیکیج کو خشک کرنا۔ اس طرح پروڈکشن کی رفتار بہتر ہوتی ہے، اور غلطیاں کم ہوتی ہیں۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ NIR کیپلنگ بہت موثر ہے، اور تھرمل ماس بھی کم رہتا ہے۔ اس کی قابل اعتمادی بھی بہت اچھی ہے؛ یہ یونٹ 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی وجہ سے غیرمتوقع بندشیں اور اضافی انوینٹری کی ضرورت نہیں پڑتی۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے لیے ضروری ہے کہ ٹول کے سائز کے مطابق ہی ہیٹر کو نصب کیا جائے، ساتھ ہی گیس اور ایگزاسٹ سسٹم کو بھی مناسب طریقے سے جوڑا جائے۔ پلی سی کے انٹرفیس کو بھی مناسب طریقے سے کنکٹ کرنا ضروری ہے۔ فلموں اور سبسٹریٹس کے لیے درجہ حرارت کو مناسب طریقے سے کنٹرول کرنے کے لیے ٹیوننگ کی ضرورت ہے۔
یہ ہیٹر معیاری ویفر سائزز اور سیدھے پیکیجوں پر بہترین کارکردگی دیتا ہے۔ اگر آپ گول یا غیرمعیاری سبسٹریٹس استعمال کر رہے ہیں، تو آپ کو مناسب فکسچرز کی ضرورت ہوگی، تاکہ درجہ حرارت کو مناسب طریقے سے کنٹرول کیا جاسکے۔