Trên sàn nhà, các buồng MOCVD của Aixtron đòi hỏi phải có hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác cao để đảm bảo quá trình tạo ra vật liệu bán dẫn diễn ra đúng chuẩn. Nếu bộ phận sưởi bị lệch đi, khả năng lặp lại quy trình sẽ giảm sút. Lúc này, nhiệt độ của các tấm wafer sẽ không còn ổn định nữa, và số lượng khiếm khuyết trên wafer cũng tăng lên. Bạn không thể chờ đợi để khắc phục tình trạng này.
Điều quan trọng nhất Chúng tôi chế tạo các bộ phận sưởi thay thế cho Aixtron sao cho phù hợp với đặc tính nhiệt của buồng sản xuất. Hình dạng của các bộ phận này được thiết kế phù hợp với khu vực đặt wafer; chúng tôi chọn loại vật liệu có khả năng phản ứng nhanh và duy trì điện trở ổn định theo thời gian. Nhờ đó, nhiệt độ của các tấm wafer có thể được kiểm soát ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình xử lý. Điều này giúp đảm bảo rằng các quy trình xử lý vẫn diễn ra ổn định từ lô này sang lô khác.
Bộ phận này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Do đó, số lượng hạt bụi vẫn ổn định trong suốt quá trình thay thế bộ phận. Bộ phận này được thiết kế để hoạt động 24/7, với thời gian sử dụng lâu dài.
Tại sao điều này lại quan trọng trong công nghệ in ấn bán dẫn? Trong công nghệ in ấn bán dẫn, độ chính xác của nhiệt độ là yếu tố quan trọng để kiểm soát độ dày của các lớp vật liệu bán dẫn và ngăn chặn sự xuất hiện của các khiếm khuyết. Việc sử dụng các bộ phận sưởi thay thế phù hợp sẽ giúp duy trì mức nhiệt độ ổn định, từ đó giúp quy trình sản xuất diễn ra thuận lợi hơn.
Thời gian ngừng hoạt động của máy sẽ giảm, sản lượng vẫn được đảm bảo, và mức tiêu thụ năng lượng cũng ổn định. Khả năng lặp lại quy trình cũng được cải thiện, và lượng sản phẩm bị hỏng cũng giảm đi.
Những chi tiết giúp bạn tránh rủi ro Khi lắp đặt, cần tuân thủ các quy tắc liên quan đến ESD và đảm bảo lực siết phù hợp khi lắp đặt các bộ phận. Nếu không, những khe hở nhỏ sẽ xuất hiện, gây ra sự sai lệch về nhiệt độ. Hãy kiểm tra kỹ loại kết nối, điện áp và kích thước của các bộ phận, vì những sự không tương thích này sẽ ảnh hưởng đến khả năng truyền nhiệt.
Hãy lên kế hoạch thay thế bộ phận trong các lần bảo trì định kỳ. Đó là cách để tránh những ảnh hưởng xấu do sự thay đổi nhiệt độ và bảo vệ lớp phủ bên trong buồng sản xuất.