Trên sàn lithography, cái FOUP ướt quay trở lại từ bồn rửa là một vấn đề bạn có thể cảm nhận trước khi nhìn thấy nó. Độ ẩm dư thừa dẫn đến sự trôi lệnh bake mềm, độ rộng đường dây sai lệch và phế phẩm. Bạn cần FOUP hoàn toàn khô ráo trước khi nó vào đường ray, và trạng thái khô ráo đó cần phải lặp lại được, lô này sau lô khác.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi nhắm đến độ đồng nhất nhiệt độ trên bề mặt wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn khung, để mỗi wafer đều nhận cùng một ngân sách nhiệt. Mô-đun gia nhiệt sử dụng hồng ngoại sóng ngắn với cửa sổ thạch anh, cung cấp phản ứng nhanh, theo đường thẳng tầm nhìn và giảm thiểu độ trễ nhiệt giữa điểm đặt và thân FOUP. Buồng được thiết kế cho hoạt động trong phòng sạch Class 1–100, với các mối ghép kín và đường đi của không khí laminar giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không trong suốt chu trình.
Kiểm soát là vòng kín ngay tại giao diện FOUP, không phải tại khối gia nhiệt. Điều đó có nghĩa là nhiệt độ bạn ra lệnh là nhiệt độ bạn đo ở nơi cần thiết.
Tại sao nó hoạt động trên dây chuyền
Máy sấy được đưa thẳng vào quy trình xử lý FOUP, vì vậy việc chuyển từ ướt sang khô không tạo ra hàng đợi tại trạm bake. Điểm đặt bake mềm và bake cứng giữ nguyên được, và bạn không còn thấy sự sai lệch về CD và độ dày giữa các lô.
Nhu cầu năng lượng được hiệu chỉnh cho quy trình FOUP có thông lượng cao, vì vậy bạn giảm công suất nhàn rỗi mà không từ bỏ tốc độ tăng. Độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7, với các thành phần được chọn để có tuổi thọ dài và khoảng thời gian bảo trì dự đoán được, giữ cho thời gian ngừng hoạt động không kế hoạch ở mức không.
Những chi tiết có thể gây rắc rối
Các giao diện cơ khí FOUP khác nhau theo từng OEM, vì vậy hãy xác nhận hình học và sự căn chỉnh của các kết nối trước khi lắp đặt. Thiết bị cần một mạch điện phòng sạch chuyên dụng và không khí đầu vào được kiểm soát. Hãy chuẩn bị cho một khoảng thời gian đưa vào hoạt động ngắn để khóa các hồ sơ gia tăng và ngâm cho lớp kháng sinh cụ thể của bạn.
Khi nó đã được hiệu chỉnh, hãy đối xử với nó như bất kỳ yếu tố quy trình cố định nào. Tài liệu hóa nó, kiểm soát nó, và nó sẽ duy trì được quy trình.