Trên sàn sản xuất, soft bake và hard bake không cho phép sai lệch nhiệt độ. Một điểm nóng 2°C trên bề mặt wafer có thể gây lệch kích thước đường nét khiến toàn bộ lô hàng bị loại bỏ. Chúng tôi thiết kế ống quartz cho đèn IR trong fab để loại bỏ sự bất định này khỏi ngân sách nhiệt.
Những yếu tố quan trọng bên trong
Chúng tôi chọn quartz độ tinh khiết cao cho ống vì nó duy trì truyền dẫn ổn định trong dải IR sóng ngắn đến trung bình, đồng thời đặc tính giãn nở nhiệt giữ cho hình dạng không đổi qua các chu trình nhiệt nhanh. Điều này mang lại độ đồng đều ở mức wafer trong phạm vi ±0.1°C trên bề mặt nung, giúp các cấu hình photoresist lặp lại ổn định giữa các lô. Ống tương thích với phòng sạch Class 1–100, và hình học được thiết kế cho nhiệt bức xạ dạng laminar với độ sinh hạt bằng không—không thoát khí, không bong tróc, không gây nhiễm bẩn.
Lý do ống bền bỉ trong sản xuất
Trong các track lithography và module cure, ống ổn định nhiệt độ nhanh hơn và duy trì điểm đặt lâu hơn. Điều này cho phép rút ngắn thời gian nung mà không ảnh hưởng đến chất lượng màng, giảm thời gian khởi động và tiết kiệm điện năng. Hiệu suất ổn định trên 5,000+ giờ sử dụng, với mất cường độ dưới 5%, giúp giảm thời gian bảo trì thay thế linh kiện và tăng thời gian vận hành wafer. Cửa sổ quy trình được thu hẹp, các sai lệch vốn phải làm lại không xuất hiện.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt
Căn chỉnh phải chính xác trục tiêu của đèn. Sai lệch chỉ vài độ cũng gây gia nhiệt không đối xứng và biến động kích thước quan trọng. Phải lựa chọn đèn phù hợp về loại đầu nối, công suất, và chiều dài vỏ đèn. Ống rất bền, nhưng quartz không chịu được va đập cơ học—cần sử dụng dụng cụ chuyên dụng, không cầm bằng tay trần. Khi đã căn chỉnh và chọn đúng, ống hoạt động như một phần tử nhiệt có thể dự đoán, đảm bảo ổn định theo ca vận hành.