Hãy ngừng lãng phí thời gian chờ đợi cho đến khi phòng sạch đủ nhiệt độ đi. Nếu bạn thực hiện các quy trình xử lý phức tạp liên quan đến bán dẫn, chắc hẳn bạn đã từng cảm thấy bực bội vì những khoảng thời gian chờ đợi này. Bạn hiểu rõ ý tôi: đó là những khoảng thời gian lãng phí trong quy trình làm nóng phòng sạch.
Hầu hết các thiết bị sử dụng công nghệ luồng khí được bơm vào để làm nóng phòng sạch. Đây là một quy trình chậm chạp. Không khí được làm nóng, sau đó mới làm nóng toàn bộ phòng sạch; cuối cùng, wafer mới được làm nóng. Đây là một chuỗi phản ứng kéo dài, khiến bạn mất nhiều thời gian.
Giải pháp nhanh chóng? Sử dụng máy sưởi bằng tia hồng ngoại. Máy sưởi này loại bỏ bước trung gian này. Thay vì sử dụng khí, chúng truyền bức xạ điện từ trực tiếp vào vật cần được làm nóng.
Đó là một trải nghiệm tuyệt vời khi sử dụng máy sưởi này. Bạn không cần phải chờ đợi cho đến khi luồng khí ổn định; chỉ cần vài giây thôi là nhiệt độ đã đạt yêu cầu. Điều này giúp bạn rút ngắn thời gian xử lý và có thể xử lý nhiều lô sản phẩm hơn.
Ngoài ra, hãy nói về vấn đề bụi bẩn. Luồng khí tạo ra nhiều bụi bẩn trong phòng sạch. Ngay cả với các bộ lọc HEPA tốt nhất, việc sử dụng luồng khí vẫn là một rủi ro đối với các wafer silic. Còn máy sưởi bằng tia hồng ngoại thì không tạo ra luồng khí, do đó không gây ra bụi bẩn. Bạn có thể loại bỏ các bộ phận phức tạp liên quan đến luồng khí và giải phóng diện tích sàn.
Nhưng đừng nghĩ rằng đây là giải pháp hoàn hảo. Vẫn còn một số điểm cần lưu ý. Tia hồng ngoại có tính hướng đạo. Nếu bạn xử lý các vật thể có hình dạng phức tạp, bạn không thể chỉ đơn giản “đặt máy và quên nó”. Bạn sẽ gặp phải hiện tượng “bóng tối”, khiến những vùng khuất vẫn còn lạnh trong khi bề mặt thì đã được làm nóng. Bạn cần phải chọn góc chiếu sáng và vị trí đặt máy sao cho nhiệt độ được phân bố đều.
Và vì tia hồng ngoại hoạt động rất nhanh, hệ thống điều khiển của bạn cũng cần phải hoạt động nhanh theo. Nếu hệ thống PID hoạt động chậm hoặc kém hiệu quả, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ vượt mức mong muốn trước khi bạn kịp nhận ra. Bạn cần sử dụng các cảm biến tốc độ cao và bộ điều khiển mạnh mẽ để có thể phản ứng nhanh như tốc độ lan truyền của nhiệt.
Đó là một công việc đòi hỏi độ chính xác cao, nhưng tốc độ mà bạn nhận được thì thật xứng đáng.