Trong quá trình xử lý wafer, wafer phải trải qua các bước nung ấm, nung cứng và khử ẩm – không có chỗ cho sự sai lệch nào cả. Nếu nhiệt độ tại vị trí nào đó trong quá trình nung vượt quá 2°C, điều này có thể gây ra những khiếm khuyết trên bề mặt wafer. Ngược lại, nếu nhiệt độ ở một vùng nào đó quá thấp, điều này có thể khiến các hạt bụi bám vào bề mặt wafer, gây ra những khiếm khuyết nghiêm trọng sau này. Ở đây, độ tin cậy không phải là một khẩu hiệu suông – đó chính là tỷ lệ sản phẩm bị hỏng hàng giờ.
Về mặt kỹ thuật, điều chúng tôi chú trọng nhất là việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Chúng tôi sử dụng các bộ sưởi để duy trì nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Các thông số liên quan đến quá trình nung cũng được kiểm soát chặt chẽ. Các bóng đèn halogen loại khoáng chất giúp tăng tốc độ nung mà vẫn giữ được mức khí thải ở mức tối thiểu. Các cảm biến được sử dụng để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, chứ không chỉ dựa vào màn hình hiển thị.
Khả năng tương thích với môi trường sạch từ cấp độ 1 đến 100 cũng được tính toán kỹ lưỡng: vật liệu sử dụng phải ít bụi nhất có thể, các điểm tiếp xúc phải được đảm bảo chắc chắn, và hệ thống thoát khí phải ngăn chặn bụi bẩn nhập vào buồng xử lý. Chúng tôi không dám khẳng định rằng hệ thống này hoàn toàn không tạo ra bụi bẩn. Chúng tôi chỉ định mức độ bụi bẩn, đo lường nó và kiểm tra lại thông qua các thiết bị giám sát quy trình.
Tại sao điều này lại quan trọng? Trong quá trình sấy và làm sạch wafer, bộ sưởi giúp làm khô bề mặt wafer mà không gây ra hiện tượng sốc nhiệt – điều này giúp giảm thiểu số lượng sản phẩm bị hỏng. Trong quá trình in ấn, bộ sưởi giúp đảm bảo độ chính xác trong quá trình nung, từ đó giúp kiểm soát độ dày của lớp vật liệu in và độ phẳng của các bộ phận liên quan. Trong quá trình đóng gói, bộ sưởi giúp đảm bảo quá trình khử ẩm diễn ra một cách chính xác, mà không vượt quá giới hạn nhiệt độ cho phép.
Kết quả là: ít sản phẩm bị hỏng, các biểu đồ giám sát không có sự biến động lớn, và mức tiêu thụ năng lượng cũng được kiểm soát chặt chẽ.
Có một vài điều cần lưu ý. Bộ sưởi có thể được tích hợp với các nền tảng OEM tiêu chuẩn, nhưng độ phẳng của bề mặt wafer và các điểm tiếp xúc cũng cần phải đáp ứng các tiêu chuẩn nhất định. Việc lắp đặt khá nhanh, nhưng bạn vẫn cần điều chỉnh tốc độ nung và các thông số liên quan.
Nếu bạn hoạt động trong môi trường có độ ẩm cao, hãy chú ý đến việc xử lý hơi nước tại các cổng thoát khí. Khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng cách, hệ thống có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào – từ các bóng đèn, cảm biến cho đến các bộ phận kín khít khác.