Trên sàn sản xuất, làm việc liên tục 7×24 không cho phép sai lệch. Một lần đèn nhấp nháy cũng khiến quá trình soft bake bị lệch. Độ đồng đều CD bị ảnh hưởng. Tiếp theo là cả lô bị cách ly kiểm dịch. Chúng tôi thiết kế đèn RTP này để loại bỏ rủi ro đó.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Thiết bị sử dụng đèn halogen sóng ngắn trong cụm thạch anh kín, truyền nhiệt đến vị trí cần nhanh, có định hướng và kiểm soát phổ quang chặt chẽ. Trong phạm vi quy trình, độ đồng đều nhiệt độ ở mức wafer giữ ổn định ±0.1°C, đảm bảo các profile soft bake và hard bake có thể lặp lại được, lô này sang lô khác. Thiết bị phù hợp sử dụng trong phòng sạch Class 1–100, và chúng tôi đã xác nhận không sinh hạt bụi tại điểm sử dụng. Trong điều kiện tải sản xuất, hệ thống nhiệt giữ ổn định điểm đặt, giúp ngân sách nhiệt được duy trì nhất quán trong quá trình tạo mẫu và nung.
Lý do thiết bị ổn định trong quá trình lithography: Trong các dây chuyền lithography, đèn này duy trì quá trình xử lý photoresist trong phạm vi thông số: dòng chảy resist, loại bỏ dung môi và liên kết chéo được kiểm soát chặt chẽ — với mức độ lặp lại giống nhau sau các ca làm việc. Mục tiêu độ tin cậy là không có thời gian chết ngoài kế hoạch, dựa trên tuổi thọ thiết kế trên 5,000 giờ với mức suy giảm công suất tối thiểu. Ít gián đoạn hơn. Ít lô phải làm lại hơn. Hiệu suất ổn định. Tiêu thụ năng lượng được tối ưu mà không ảnh hưởng đến tốc độ tăng nhiệt, giữ thời gian chu kỳ chặt chẽ và giảm chi phí tiện ích.
Những điểm cần lên kế hoạch: Việc lắp đặt yêu cầu đèn phải phù hợp chính xác với kích thước buồng RTP và giao diện kết nối. Nếu điểm cuối hoặc hình dạng phản xạ không chính xác, bạn sẽ gặp vấn đề về đồng đều nhiệt. Dự kiến một giai đoạn chạy thử ngắn để xác định chính xác độ phát xạ và bù nhiệt pirometry theo công thức của bạn. Khi đã căn chỉnh xong, đèn hoạt động theo thiết kế — chỉ cần lên lịch thay thế định kỳ để duy trì kiểm soát lượng hạt bụi trong phòng sạch.