减少半导体加热过程中的碳排放与臭氧生成 如果你曾在洁净室工作过，就会知道其中的不便之处。在洁净室中，需要极高的温度控制精度，而所使用的设备却常常带来新的问题。 传统的短波红外灯会发出波长低于200纳米的光线。问题在于，这些光线会与氧气反应，从而产生臭氧。在洁净环境中，臭氧堪称“害虫”——它会侵蚀设...

在生产线中，热漂移并不会以警示灯的形式表现出来，而是会体现在批次检测报告中的合格率下降上。 晶圆干燥、光刻胶的软烘烤和硬烘烤、封装固化以及清洗过程——所有这些步骤都必须在严格的温度控制下进行。无铅焊料晶圆的预热器必须能够提供稳定的温度，且能快速达到设定温度，同时还要能够在无尘室环境中正常工作，不会...